Тонкие пленки алюминия, нанесенные на охлаждаемые жидким азотом подложки
РНФ, Проведение исследований на базе существующей научной инфраструктуры мирового уровня, 23-79-00022
Стрелков М.1, Чекушкин А.1, Фоминский М.1, Козулин Р.1, Краевский С.2, Татаринцев А.3, Захаров Д.3, Ломов А.3, Тарасов М.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
2Институт медикобиологической химии им. В.Н. Ореховича, Москва, Россия
3Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН, Москва, Россия
Email: strelkov.mv@phystech.edu
Поступила в редакцию: 18 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 18 апреля 2024 г.
Принята к печати: 8 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2024 г.
Исследована микроструктура пленок алюминия, термически напыленных на монокристаллические кремниевые подложки при температуре жидкого азота и при комнатной температуре. Приведены результаты исследования морфологии и микроструктуры пленок методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и электронной микроскопии. Показано, что среднеквадратичная шероховатость снижается с 0.4-1.2 до 0.19-0.34 nm при охлаждении подложки от комнатной температуры до температуры жидкого азота. Ключевые слова: тонкие пленки, морфология поверхности, структура пленки, сверхпроводимость, СИС-переход, кристаллическая структура.
- S. Fritz, L. Radtke, R. Schneider, M. Weides, D. Gerthsen. J. Appl. Phys. 125, 16, 165301 (2019)
- M. Tarasov, A. Lomov, A. Chekushkin, M. Fominsky, D. Zakharov, A. Tatarintsev, S. Kraevsky, A. Shadrin. Nanomaterials 13, 2002 ( 2023). https://doi.org/10.3390/nano13132002
- Д.А. Калачева. Сверхпроводниковые устройства с нелинейной кинетической индуктивностью на основе гибридных структур из тонких пленок алюминия. Дис. к.ф.-м.н.(2023)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
