Исследована микроструктура пленок алюминия, термически напыленных на монокристаллические кремниевые подложки при температуре жидкого азота и при комнатной температуре. Приведены результаты исследования морфологии и микроструктуры пленок методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и электронной микроскопии. Показано, что среднеквадратичная шероховатость снижается с 0.4-1.2 до 0.19-0.34 nm при охлаждении подложки от комнатной температуры до температуры жидкого азота. Ключевые слова: тонкие пленки, морфология поверхности, структура пленки, сверхпроводимость, СИС-переход, кристаллическая структура.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.