Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Диффузия магния в кремнии, выращенном методом Чохральского
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: leonid.portsel@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 23 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 23 мая 2024 г.
Принята к печати: 24 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2024 г.
Исследована диффузия магния в бездислокационном кремнии, выращенном методом Чохральского (Cz-Si) с концентрацией кислорода ~(1.2-1.6)·1017 cm-3. Проведено сравнение температурной зависимости коэффициента диффузии магния с данными, полученными ранее в Cz-Si с бoльшей концентрацией кислорода ~(3-4)·1017 cm-3. Значения коэффициента диффузии, измеренные при температурах T=1100-1250oC, оказались больше в кремнии с меньшей концентрацией кислорода. Обработка экспериментальных данных проводилась в рамках модели диффузии ограниченной ловушками, в которой замедление диффузии происходит в результате захвата межузельных атомов Mg центрами, связанными с кислородом. Определена энергия связи центров захвата ~2.2 eV. Ключевые слова: кремний, выращенный методом Чохральского, магний, диффузия, глубокие доноры.
- S.G. Pavlov, R.Kh. Zhukavin, V.N. Shastin, H.-W. Hubers. Phys. Status Solidi B 250, 1, 9 (2013)
- N.V. Abrosimov, N. Notzel, H. Riemann, K. Irmscher, S.G. Pavlov, H.-W. Hubers, U. Bottger, P.M. Haas, N. Drichko, M. Dressel. Solid State Phenomena 131-133, 589 (2008)
- S.G. Pavlov, N. Debmann, A. Pohl, V.B. Shuman, L.М. Portsel, А.N. Lodygin, Yu.A. Astrov, S. Winnerl, H. Schneider, N. Stavrias, A.F.G. van der Meer, V.V. Tsyplenkov, K.A. Kovalevsky, R.Kh. Zhukavin, V.N. Shastin, N.V. Abrosimov, H.-W. Hubers. Phys. Rev. B 94, 075208 (2016)
- В.Н. Шастин, Р.Х. Жукавин, К.А. Ковалевский, В.В. Цыпленков, В.В. Румянцев, Д.В. Шенгуров, С.Г. Павлов, В.Б. Шуман, Л.М. Порцель, А.Н. Лодыгин, Ю.А. Астров, Н.В. Абросимов, J.M. Klopf, H.W. Hubers. ФТП 53, 9, 1263 (2019)
- Н.А. Бекин, Р.Х. Жукавин, В.В. Цыпленков, В.Н. Шастин. ФТП 58, 1, 7 (2024)
- R.K. Franks, J.B. Robertson. Solid State Commun. 5, 6, 479 (1967)
- L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B 5, 2, 462 (1972)
- Yu.A. Astrov, L.M. Portsel, V.B. Shuman, A.N. Lodygin, N.V. Abrosimov. Phys. Status Solidi A 219, 2200463 (2022)
- A. Thilderkvist, M. Kleverman, H.G. Grimmeiss, Phys. Rev. B 49, 16338 (1994)
- L.T. Ho. Phys. Status Solidi B 210, 313 (1998)
- L.М. Portsel, А.N. Lodygin, N.V. Abrosimov, Yu.A. Astrov. Phys. Status Solidi A 220, 2300130 (7p) (2023)
- В.Б. Шуман, Ю.А. Астров, А.Н. Лодыгин, Л.М. Порцель. ФТП 51, 8 1075 (2017)
- S.G. Pavlov, L.M. Portsel, V.B. Shuman, A.N. Lodygin, Y.A. Astrov, N.V. Abrosimov, S.A. Lynch, V.V. Tsyplenkov, H.-W. Hubers. Phys. Rev. Mater. 5, 114607 (2021)
- C.A. Wert, R.C. Frank. Ann. Rev. Mater. Sci., 13, 139 (1983)
- P.M. Fahey, P.B. Griffin, J.D. Plummer. Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989)
- V.V. Voronkov. Phys. Status Solidi A 216, 20 1900130(7) (2019)
- M. Koiwa, Acta Met. 22, 1259 (1974)
- S. Coffa, J.M. Poate, D.C. Jacobson. Phys. Rev. B 45, 8355 (1992)
- P.A. Stolk, H.-J. Gossmann, D.J. Eaglesham, D.C. Jacobson, J.M. Poate, H.S. Luftman. Appl. Phys. Lett. 66, 568 (1995)
- R. Keller, M. Deicher, W. Pfeiffer, H. Skudlik, D. Steiner, Phys. Rev. Lett., 65, 2023 (1990)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
