Вышедшие номера
Внутренние механические напряжения, термодинамические и адгезионные параметры в системе металлический конденсат-монокристаллический кремний
Коман Б.П., Юзевич В.Н.
Поступила в редакцию: 2 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2012 г.

C помощью консольного метода экспериментально исследована кинетика формирования внутренних механических напряжений sigma(d) в тонких пленках хрома, меди, золота и алюминия на кремниевых монокристаллических подложках при различных скоростях осаждения. Обнаружен двухстадийный характер изменений внутренних напряжений растягивающего типа. Установлены закономерности формирования максимального уровня механических напряжений в исследуемых конденсатах. С применением макроскопических методов физики поверхности исследованы энергетические и адгезионные параметры в нанослоях хрома, меди, золота и алюминия на подложках кремния, германия и никеля. Получены значения межфазной энергии, межфазового натяжения, работы адгезии, межфазного заряда и новой энергетической характеристики межфазного слоя - энергии адгезии этих связей, которая превалирует над межфазной энергией.