Грузинцев А.Н.1, Дулина Н.А.2, Емельченко Г.А.3, Ермолаева Ю.В.2, Кудренко Е.А.3, Толмачев А.В.2
1Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
2НТК "Институт монокристаллов" НАН Украины, Харьков, Украина
3Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
