Аномальные потери свинца в тонких пленках PZT в процессе кристаллизации фазы перовскита
Пронин В.П.1, Сенкевич С.В.1,2, Каптелов Е.Ю.2, Пронин И.П.2
1Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Petrovich@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 18 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2012 г.
Исследованы механизмы "ухода" избыточного оксида свинца из пленок цирконата-титаната свинца, ex-situ выращенных в двух различных режимах с помощью магнетронного распыления. В первом случае кристаллизация плотной фазы перовскита проходила через промежуточную "рыхлую" фазу, во втором случае - напрямую. Обнаружено, что аномально высокие потери свинца происходят вследствие миграции свинца по межфазным пористым границам к поверхности пленок и сильно зависят от режима изготовления последних. Обсуждается необычное изменение состава пленок с ростом температуры отжига. Работа выполнена при финансовой поддержке государства в лице Минобрнауки России (соглашение N 8516), при частичной финансовой поддержке РФФИ (грант N 011-02-00609) и субсидий Правительства Санкт-Петербурга для молодых ученых и молодых кандидатов наук (2010 и 2011 гг.).
- N. Izyumskaya, Y.-I. Alivov, S.-J. Cho, H. Morkoc, H. Lee, Y.-S. Kang. Critical Rev. Solid State and Mater. Sci. 32, 111 (2007)
- J.F. Scott. Science 315, 954 (2007)
- G. Srinivasan, E.T. Rasmussen, B.J. Levin, R. Hayes. Phys. Rev. B 65, 134 402 (2002)
- W. Eerenstein, N.D. Mathur, J.F. Scott. Nature 442, 759 (2006)
- R. Kohler, G. Suchaneck, P. Padmini, T. Sandler, G. Gerlach, G. Hofmann. Ferroelectrics 225, 57 (1999)
- S.B. Krupanidhi. Integrated Ferroelectrics 1, 161 (1992)
- M. Klee, A. De Vierman, D.J. Naylor, P.K. Larsen. Integrated Ferroelectrics 4, 197 (1994)
- Z.-T. Song, W. Ren, L.-Y. Zhang, X. Yao, Ch. Lin. Thin Solid Films 353, 25 (1999)
- M. Watamori, M. Isono, H. Madono, Y. Kawano, K. Sasabe, T. Horao, K. Oura. Appl. Surf. Sci. 142, 422 (1999)
- И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, В.П. Пронин, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
- С.А. Кукушкин, И.Ю. Тентилова, И.П. Пронин. ФTT 54, 571 (2012)
- В.Я. Шур, Е.Б. Бланкова, А.Л. Субботин, Е.А. Борисова, А.В. Баранников. ФТТ 43, 870 (2001)
- К.А. Воротилов, О.М. Жигалина, В.А. Васильев, А.С. Сигов. ФTT 51, 1268 (2009)
- Д.Н. Хмеленин, О.М. Жигалина, К.А. Воротилов, И.Г. Лебо. ФTT 54, 939 (2012)
- В.П. Афанасьев, И.П. Пронин, А.Л. Холкин. ФТТ 48, 1143 (2006).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
