Вышедшие номера
Роль адгезии при фазовом переходе металл-полупроводник в поликристаллических пленках диоксида ванадия
Андреев В.Н.1, Климов В.А.1, Компан М.Е.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: vn.andreev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 21 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2013 г.

Травление тонких поликристаллических пленок диоксида ванадия в парах плавиковой кислоты позволило выявить существенное влияние степени адгезии на температурное положение и форму петли гистерезиса отражательной способности. Установлено, что в тех случаях, когда подложкой служит кремний, травление при комнатной температуре сопровождается внедрением водорода в тонкие пленки диоксида ванадия. Работа поддержана научной программой ОФН РАН.