Вышедшие номера
Релаксация заряда в проводящих диэлектрических пленках с мелкими и глубокими ловушками
Барыбин А.А.1, Шаповалов В.И.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: VIShapovalov@mail.ru
Поступила в редакцию: 5 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2008 г.

Аналитически решена нестационарная граничная задача релаксации заряда, инжектированного в диэлектрическую пленку, с учетом ее проводимости и захвата носителей ловушками, имеющими конечную скорость разрядки. Выполнен анализ поведения заряда в однозонном и двухзонном режимах релаксации. Общие аналитические выражения дают как частный случай ранее опубликованные результаты. Численные расчеты и анализ известных из литературы экспериментальных данных по электретному состоянию оксидных пленок, осажденных на металлические подложки, подтвердили применимость разработанной модели диэлектрической релаксации. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 07-03-00543-a). PACS: 72.20.Jv, 73.50.Gr