Проведен анализ коэффициентов пропорциональности между интенсивностью различных полос поглощения в ИК области и C_N и C_H в пленках a-SiN_x : H, полученных из газовой смеси N₂ + SiH₄ методом тлеющего разряда. Получена линейная зависимость Gamma_eff st -колебаний SiH связей и omega_m соответствующей полосы поглощения от x. Изучалось влияние состава на оптические свойства. Приведены зависимости E_g, B, E_y и N_s от x. Сравнение результатов измерения N_s, полученной ЭПР методом и оптического поглощения в примесной области, позволило найти зависимость сечения фото ионизации D-центров от состава.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.