Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Характеристики границы раздела и свойства нанослоев оксидов хрома на арсениде галлия
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия 
Email: ezhovski@pochta.ru
Поступила в редакцию: 22 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2007 г.
Представлены результаты исследования электрофизических свойств ультратонких хромоксидных слоев (наноструктур), синтезированных на поверхности арсенида галлия (100) и (110) методом молекулярного наслаивания (атомно-слоевого осаждения). Установлено влияние технологических факторов и состава слоев на характеристики границы раздела полупроводник-диэлектрик. PACS: 73.40.Qv, 73.63.-b
- Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Прогноз направления исследований / Под ред. М.К. Роко, Р.С. Уильямса, П. Аливисатоса. Мир, М. (2002)
- T. Seidel, A. Londergan, L. Winkler. Solid State Technol. 5, 67 (2003)
- В.Б. Алесковский. Вестн. АН СССР 6, 52 (1975)
- J. Gelatos, L. Chen, H. Chung, R. Thakur. Solid State Technol. 2, 44 (2003)
- Ю.К. Ежовский, А.Л. Егоров. Неорган. материалы 42, 421 (2006)
- А.Л. Егоров, Ю.К. Ежовский, П.В. Роговский. ЖПХ 57, 2126 (1984)
- Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет. Мир, М. (1981). 583 с
- В.К. Громов. Введение в эллипсометрию. Изд-во ЛГУ, Л. (1986). 192 с
- D.A. Holms. Appl. Opt. 6, 168 (1967)
- В.И. Нефедов, В.Т. Черепин. Физические методы исследования поверхности твердых тел. Наука, М. (1983). 296 с
- В.И. Нефедов. Рентгено-электронная спектроскопия химических соединений. Химия, М. (1984). 256 с
- Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy. Perkin-Elmer, Edom Prairie, Minnesota (1978). 456 p
- J. Lindau, P. Chye, P. Pianettu. J. Vac. Sci. Technol. 5, 1332 (1978)
- Е. Николиан, А. Синха. В кн.: Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. Мир, М. (1982). С. 484
- С.М. Зи. Физика полупроводниковых приборов. Мир, М. (1972). 456 с
- Э.Х. Родерик. Контакты металл--полупроводник. Радио и связь, М. (1982). 208 с
- А.В. Ляшенко, Ю.А. Тарантов, А.П. Барабан. Поверхность 7, 74 (1982)
- R. Hill. Phil. Mag. 23, 59 (1971)
- А.П. Алехин, С.В. Белотелов, А.В. Емельянов. Электрон. техника. Сер. Микроэлектроника 1 ( 52), 32 (1988)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
