Вышедшие номера
Теория сканирующей емкостной микроскопии
Балагуров Д.Б.1, Ключник А.В.1, Лозовик Ю.Е.1
1Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия
Email: lozovik@isan.
Поступила в редакцию: 3 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Рассматривается теория сканирующей емкостной микроскопии (СЕМ), применяющейся для исследования двумерного распределения неоднородностей в пленках, расположенных над металлическими подложками, а также рельефа проводящих поверхностей. Предложена реалистичная модель СЕМ, которая допускает аналитическое решение. Построено явное решение обратной задачи восстановления профиля неоднородностей в СЕМ. Подробно проанализированы эффекты, которые могли бы наблюдаться в связи с возбуждением собственных колебаний в системе пленка-игла зондового микроскопа. Данная работа была выполнена при поддержке РФФИ и программ "Поверхностные атомные структуры" и "Физика твердотельных наноструктур".