Низкотемпературная диффузия лития в твердые растворы кремний--германий
Атабаев И.Г.1, Матчанов Н.А.1, Бахранов Э.Н.1
1Физико-технический институт НПО ”Физика−Солнце“ Академии наук Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Email: atvi@physic.uzsci.net
Поступила в редакцию: 5 марта 2001 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2001 г.
Исследовано влияние содержания германия на диффузию лития в твердые расворы Si1-xGex при температурах 300-500oC. Установлено, что при понижении температуры с ростом содержания германия резко уменьшаются коэффициент диффузии и предельная растворимость лития. Причем с ростом температуры диффузии темп спада коэффициента диффузии лития в зависимости от состава твердого раствора уменьшается, что обусловлено влиянием упругих напряжений решетки, создаваемых изовалентыми атомами германия.
- С.А. Азимов, Р.А. Муминов, С.Х. Шамирзаев, А.Я. Яфасов. Кремний-литиевые детекторы ядерного излучения. ФАН, Ташкент (1981)
- В.М. Глазов, В.С. Земсков. Физико-технические основы легирования полупроводников. Наука, М. (1967)
- М.С. Саидов, Р.А. Муминов, У.Б. Джураев, Н.А. Матчанов. Атом. энергия 81, 4, 56 (1994)
- М.С. Саидов, И.Г. Атабаев, Н.А. Матчанов. Узб. физ. журн. 4, 75 (1994)
- M.S. Saidov, A. Yusupov, R.S. Umerov. J. Crystal Growth 52, 514 (1981)
- В.В. Ботавин. В кн.: Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев. Сов. радио, М. (1976)
- М.С. Саидов, А. Юсупов, В.В. Никитин, К. Абдримов, И.Г. Атабаев. ФТП 15, 6, 1221 (1981)
- М.С. Саидов, А. Юсупов, У. Сирожов. Тез. докл. 6-го координац. совещ. по исследованию сплавов кремний--германий. Тбилиси (1986). С. 21
- И.Г. Атабаев. ФТТ 38, 8, 2338 (1996)
- М.С. Саидов, И.Г. Атабаев, Э.Н. Бахранов. Узб. физ. журн. 6, 25 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
