Распределение изотопов 28Si, 29Si и 30Si под действием пластической деформации в приповерхностных слоях кристаллов Si : B
Коплак О.В.1,2, Васильев М.А.3, Моргунов Р.Б.1
1Институт проблем химической физики РАН, Черноголовка, Россия
2Киевский государственный университет им. Т.Г. Шевченко, Киев, Украина
3Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, Киев, Украина
![G. V. Kurdyumov Institute for Metal Physics of the N.A.S. of Ukraine, Kiev, Ukraine](/images/e16.png)
Email: morgunov2005@yandex.ru
Поступила в редакцию: 2 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.
Обнаружено перераспределение изотопов 28Si, 29Si и 30Si в приповерхностных слоях монокристаллов Si : B после их пластической деформации. Установлено, что после деформации профиль распределения изотопов 28Si, 29Si становится более плавным, а распределение изотопа 30Si не изменяется. Обнаружено изменение приповерхностного профиля оксида 29SiO, которое свидетельствует о миграции изотопа 29Si в составе кислородных комплексов при пластической деформации. Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ (проекты 14-03-31004 и 13-07-12027).
- F.A. Zwanenburg, A.S. Dzurak, A. Morello, M.Y. Simmons, L.C.L. Hollenberg, G. Klimeck, S. Rogge, S.N. Coppersmith, M.A. Eriksson. Rev. Mod. Phys. 85, 961 (2013)
- Y. Shimizu, A. Takano, K.M. Itoh. Appl. Surf. Sci. 255, 1345 (2008)
- Y. Shimizu, Y. Kawamura, M. Uematsu, K.M. Itoh, M. Tomita, M. Sasaki, H. Uchida, M. Takahashi. Appl. Phys. 106, 076 102 (2009)
- L. Kalinowski, R. Seguin. Appl. Phys. Lett. 35, 211 (1979)
- I.C. Vickridge, O. Kaitasov, R.J. Chater, J.A. Kilner. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 161--163, 441 (2000)
- E. Huger, R. Kube, H. Bracht, J. Stahn, T. Geue, H. Schmidt. Phys. Status Solidi B 249, 2108 (2012)
- H. Bracht, E.E. Haller, R. Clark-Phelps. Phys. Rev. Lett. 81, 393 (1998)
- G. Stingeder, M. Grundnerg, M. Grasserbauer. Surf. Interface Analysis 11, 407 413 (1988)
- J. Kato, K.M. Itoh, H. Yamada-Kaneta, H. Pohl. Phys. Rev. B 68, 035 205 (2003)
- A.M. Stoneham, M.A. Szymanski, A.L. Shluger. Phys. Rev. B 63, 241 304R (2001)
- A. Bongiorno, A. Pasquarello. Phys. Rev. Lett. 93, 086 102 (2004)
- O.V. Koplak, A.I. Dmitriev, T. Kakeshita, R.B. Morgunov. Appl. Phys. 110, 044 905 (2011)
- O. Koplak, R. Morgunov, A. Buchachenko. Chem. Phys. Lett. 560, 29 (2013)
- О.В. Коплак, А.И. Дмитриев, Р.Б. Моргунов. ФTT 57, 95 (2015)
- В.Т. Черепин, М.А. Васильев. Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов. Наук. думка, Киев (1975). 354 с
- В.Т. Черепин, М.А. Васильев. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Наук. думка, Киев (1982). 234 с
- Е.Я. Гегузин. УФН 149, 149 (1986)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.