Дислокационная фотолюминесценция в кристаллах кремния с различным примесным составом
Шевченко С.А.1, Изотов А.Н.1
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.
В кристаллах кремния с различным примесным составом, деформированных пластически при температурах выше 1000oC, определена специфика влияния кислорода на спектры дислокационной фотолюминесценции (ДФЛ) при 4.2 K. Обнаружено сильное влияние типа легирующей примеси на спектры ДФЛ при концентрациях выше 1016 cm-3. Показано, что особенности многих спектров ДФЛ в кремнии могут быть объяснены в предположении, что линии D1 и D2 связаны с дислокационными ступеньками краевого типа на скользящих дислокациях. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 00-15-96703 и 02-02-17024).
- Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма в ЖЭТФ 23, 651 (1976)
- R. Sauer, C. Kisielowski-Kemmerich, H. Alexander. Appl. Phys. A36, 1 (1985)
- A.N. Izotov, A.I. Kolyubakin, S.A. Shevchenko, E.A. Steinman. Phys. Stat. Sol. (a) 130, 193 (1992)
- V.V. Kveder, E.A. Steinman, S.A. Shevchenko, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B 51, 10 520 (1995)
- A.N. Izotov, E.A. Stienman. Phys. Stat. Sol. (a) 104, 777 (1987)
- S.A. Shevchenko, Yu.A. Ossipyan, T.R. Mchedlidze, E.A. Steinman, R.A. Batto. Phys. Stat. Sol. (a) 146, 745 (1994)
- S.A. Shevchenko, A.N. Izotov. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 665 (1993)
- T. Sekiguchi, K. Sumino. J. Appl. Phys. 79, 3253 (1996)
- O.V. Feklisova, G. Mariani-Reguta, B. Pichaud, E.B. Yakimov. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 341 (1998)
- E.A. Steinman, V.I. Vdovin, T.G. Yugova, V.S. Avrutin, N.F. Izyumskaya. Semicond. Sci. Technol. 14, 582 (1999)
- W. Wijaranakula. J. Appl. Phys. 72, 4026 (1992)
- C. Clayes, E. Simoen, J. Vanhellemont. J. Phys. III France 7, 1469 (1997)
- S. Pizzini, M. Guzzi, E. Grilli, G. Borionetti. Journal of Physics: Condens. Matter 12, 10 131 (2000)
- Ж Фридель. Дислокации. Мир, М. (1967). 644 с
- В.И. Вдовин, Н.А. Соболев, А.М. Емельянов, Е.И. Шек, Т.Г. Югова. Изв. РАН. Сер. физ. 66, 279 (2002)
- H. Gotschalk. Phys. Stat. Sol. (a) 137, 447 (1993)
- B. Shen, T. Sekiguchi, J. Jablonski, K. Sumino. J. Appl. Phys. 76, 4540 (1994)
- K. Sumino. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 111 (1999)
- A. Cavallini, M. Vandini, F. Cirticelli, A. Armigliato. Inst. Phys. Conf. Ser. 134, 115 (1993)
- K. Minova, I. Yonenaga, K. Sumino. Mater. Lett. 11, 164 (1991)
- H. Moller, L. Long, M. Werner, D. Yang. Phys. Stat. Sol. (a) 171, 175 (1999)
- A.N. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev. Phys. Stat. Sol. (b) 83, K137 (1977)
- A.N. Drozdov, A.A. Patrin, V.D. Tkachev. Phys. Stat. Sol. (a) 64, K63 (1981)
- А.Н. Изотов, Э.А. Штейнман. ФТТ 28, 1172 (1980)
- A. Borghesi, B. Pivac, A. Sassela, A. Stella. J. Appl. Phys. 77, 4169 (1995)
- S. Hahn, F.A. Ponce, W.A. Tiler, V. Stojanov, D.A.P. Bulla, W.E. Castro, jr. J. Appl. Phys. 64, 4454 (1988)
- M. Imai, K. Sumino. Phil. Mag. A47, 599 (1983)
- R. Jones, A. Umerski, P. Sitch, M.I. Heggie, S. Oberg. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 369 (1993)
- E.C. Lightowlers, V. Higgs. Phys. Stat. Sol. (a) 138, 665 (1993)
- А.И. Колюбакин, Ю.А. Осипьян, С.А. Шевченко, Э.А. Штейнман. ФТТ 26, 677 (1984)
- G. Packeiser, P. Haasen. Phil. Mag. 35, 821 (1977)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.