Вышедшие номера
Особенности эффекта поля в структуре металл-сегнетоэлектрик-полупроводник при использовании многослойных сегнетоэлектрических пленок с различными структурными типами
Переводная версия: 10.1134/S1063783418090202
РФФИ, 16-29-14013
Мухортов В.М. 1, Головко Ю.И. 1, Павленко А.В. 1, Стрюков Д.В. 1, Бирюков С.В. 1, Ковтун А.П. 1, Зинченко С.П. 1
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: mukhortov1944@mail.ru, urgol@rambler.ru
Поступила в редакцию: 22 января 2018 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2018 г.

Показана возможность осаждения на легированный кремний пленочных сегнетоэлектрических структур Sr0.5Ba0.5Nb2O6+Ba0.2Sr0.8TiO3 и Ba0.8Sr0.2TiO3+Ba0.4Sr0.6TiO3 с низкой плотностью интерфейсных дефектов. Изучение пьезоотклика квазистатическим методом (площадь электрода 0.07 mm2) показало, что в гетероструктурах имеет место изначальное поляризованное состояние сегнетоэлектрика с направлением спонтанной поляризации по нормали к подложке независимо от типа проводимости Si. Установлено, что это поляризованное состояние связано с двумерными напряжениями в сегнетоэлектрике, которыми можно управлять с помощью предварительно созданного на подложке подслоя BaxSr1-xTiO3 и толщиной этого подслоя. Переключение поляризации в гетероструктурах Sr0.5Ba0.5Nb2O6/Si и Ba0.8Sr0.2TiO3/Si при внешнем полевом воздействии происходит только при использовании предварительно нанесенного на кремний подслоя титаната бария-стронция. Уменьшение на 15% величины переключаемой поляризации в структурах Ba0.8Sr0.2TiO3/Ba0.4Sr0.6TiO3/Si происходит в течение 500 h. Исследование выполнено в рамках реализации Государственного задания по проекту N 0120-1354-247) и при поддержке РФФИ (грант N 16-29-14013).