Термостабильность эпитаксиальных слоев GaN c разной степенью упорядоченности мозаичной структуры
Бенеманская Г.В.1, Бесюлькин А.И.1, Дунаевский М.С.1, Крыжановский А.К.1, Шмидт Н.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 октября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Методом атомно-силовой микроскопии проведены исследования термостабильности эпитаксиальных слоев GaN, выращенных методом эпитаксии из металлорганических соединений на сапфировой подложке (0001). Образцы различного качества подвергались температурному отжигу в пределах 700-950oC в условиях высокого вакуума. Показано, что степень упорядоченности мозаичной структуры эпитаксиальных слоев сильно влияет на термостабильность. Деградация поверхности для эпитаксиальных слоев с хорошо упорядоченной мозаичной структурой наблюдается при температуре ~ 950oC. Изменение морфологии поверхности слоев с плохо упорядоченной мозаичной структурой начинается при более низких температурах ~ 780oC. Работа выполнена при поддержке гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 01-02-16802 и гранта в рамках программы N 1-107 Министерства промышленности, науки и технологий Российской Федерации.
- M. Razeghi, A. Rogalski. J. Appl. Phys. 79, 7433 (1996)
- I. Akasaki, H. Amano. Jpn. J. Appl. Phys. 36, 9A, 5393 (1997)
- M.A. Mastro, O.M. Kryliouk, M.D. Reed, T.J. Anderson, A. Davydov, A. Shapiro. Phys. Stat. Sol. (a) 188, 467 (2001)
- A.R. Smith, R.M. Feenstra. Appl. Phys. Lett. 72, 2111 (1999)
- L.S. Dhesi, C.B. Stagarescu, K.E. Smith, T.D. Moustakas. Phys. Rev. B 56, 10 271 (1997)
- V.M. Bermudez. Surf. Sci. 417, 30 (1998)
- R. Chierchia, T. Bottcher, S. Figge, M. Diesselberg, H. Heinke, D. Hommel. Phys. Stat. Sol. (b) 228, 403 (2001)
- A.G. Kolmakov, V.V. Emtsev, W.V. Lundin, V.V. Ratnikov, N.M. Shmidt, A.N. Titkov, A.S. Usikov. Physica B 308--310, 1141 (2001)
- N.M. Shmidt, V.V. Emtsev, A.G. Kolmakov, A.D. Kryzhanovsky, W.V. Lundin, D.S. Poloskin, V.V. Ratnikov, A.N. Titkov, A.S. Usikov, E.E. Zavarin. Nanotechnology 12, 471 (2001)
- Г.В. Бенеманская, Д.В. Дайнека, Г.Э. Франк-Каменская. ЖЭТФ 119, 342 (2001)
- Г.В. Встовский, А.Г. Колмаков, И.Ж. Бунин. Введение в мультифрактальную параметризацию структур материалов. Научно-издательский центр "Регулярная и хаотическая динамика", Ижевск (2001). 115 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.