Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2018, выпуск 10 » Статья стр. 2045
<<<>>>
Начальные стадии роста пленок цирконата-титаната бария и станната-титаната бария на монокристаллических подложках сапфира и карбида кремния
DOI: 10.21883/FTT.2018.10.46537.095
Переводная версия: 10.1134/S1063783418100293
РФФИ, 16-07-0061
РФФИ, 16-29-051
РФФИ, 18-37- 00348
Минобрнауки России, 3.3990.2017/4.6
Тумаркин А.В. 1, Злыгостов М.В.1, Серенков И.Т.2, Сахаров В.И.2, Афросимов В.В.2, Одинец А.А.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: avtumarkin@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.
PDF версия
Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната бария и станната-титаната бария на подложках монокристаллического сапфира и карбида кремния. Выбор подложек обусловлен возможностью применения данных структур в сверхвысокочастотных устройствах. Показано, что рост островковых пленок BaZrxTi1-xO3 происходит посредством механизма массопереноса частиц через газовую фазу во всем исследуемом температурном диапазоне. При конденсации BaSnxTi1-xO3 пленок в температурной области ~800oC происходит смена механизма массопереноса с поверхностной диффузии на диффузию через газовую фазу, кроме того наблюдается существенная разница в компонентном составе пленок на сапфире и карбиде кремния. Отмечено, что при росте оксидных пленок на поверхности подложки карбида кремния образуется промежуточный слой SiO2, толщина которого зависит от температуры осаждения. А.В. Тумаркин, М.В. Злыгостов и А.А. Одинец выражают благодарность за финансовую поддержку РФФИ в рамках научных проектов 16-07-00617, 16-29-0514, 18-37-00348 и Минобрнауки России (государственное задание N 3.3990.2017/4.6).
  1. A. Ahmed, I.A. Goldthorpe, A.K. Khandani. Appl. Phys. Rev. 2, 011302 (2015)
  2. C.J.G. Meyers, Ch.R. Freeze, S. Stemmer, R.A. York. Appl. Phys. Lett. 109, 112902 (2016)
  3. P.S. Krishnaprasad, A. Antony, F. Rojas, M.K. Jayaraj. J. Appl. Phys. 117, 124102 (2015)
  4. C. Luo, J. Ji, F. Ling, D. Li, J. Yao. J. Alloys Comp. 687, 458 (2016)
  5. А.В. Тумаркин, Е.Р. Тепина, Е.А. Ненашева, Н.Ф. Картенко, А.Б. Козырев. ЖТФ 82, 53 (2012)
  6. О.Ю. Буслов, В.Н. Кейс, A.Б. Козырев, И.В. Котельников, П.В. Кулик. ЖТФ 75, 89 (2005)
  7. А.Б. Козырев, А.В. Иванов, О.И. Солдатенков, С.В. Разумов, А.В. Тумаркин, С.Ю. Айгунова. ПЖТФ 27, 16 (2001)
  8. А.Б. Козырев, М.М. Гайдуков, А.Г. Гагарин, А.В. Тумаркин, С.В. Разумов. ПЖТФ 28, 51 (2002)
  9. A.V. Tumarkin, A.G. Gagarin, A.G. Altynnikov, M.M. Gaidukov, A.A. Odinets, S.V. Razumov, A.B. Kozyrev. Thin Solid Films 593, 189 (2015)
  10. A. Tumarkin, V. Stozharov, A. Altynnikov, A. Gagarin, S. Razumov, E. Kaptelov, S. Senkevich, I. Pronin, A. Kozyrev. Integr. Ferroelectrics 173, 140 (2016)
  11. S. Hoffmann, R.M. Waser. Integr. Ferroelectrics 17, 141 (1997)
  12. D.Y. Wang, P. Yun, Y. Wang, H.L.W. Chan, C.L. Choy. Thin Solid Films 517, 2092 (2009)
  13. N. Waldhoff, D. Fasquelle, K. Blary. Appl. Phys. Lett. 105, 132907 (2014)
  14. С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсные системы на поверхности твердых тел. Механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). Наука, СПб. (1996). 304 с
  15. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Appl. Phys. 86, 1370 (1999)
  16. S.A. Kukushkin. Thin Solid Films 207, 302 (1992)
  17. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. Prog. Surf. Sci. 51, 1 (1996)
  18. А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров. ФТТ 52, 2397 (2010)
  19. А.В. Тумаркин, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов, А.В. Анкудинов, А.А. Одинец. ФТТ 57, 796 (2015)
  20. А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, В.В. Афросимов, А.А. Одинец. ФТТ 58, 354 (2016)
  21. А.В. Тумаркин, И.Т. Серенков, В.И. Сахаров, С.В. Разумов, А.А. Одинец, М.В. Злыгостов, Е.Н. Сапего, В.В. Афросимов. ФТТ 59, 2352 (2017)
  22. V.V. Afrosimov, R.N. Il'in, S.F. Karmanenko, F.F. Melkov, V.I. Sakharov, I.T. Serenkov. Thin Solid Films 492, 146 (2005)
  23. J. Roy, S. Chandra, S. Das, S. Maitra. Rev. Adv. Matter. Sci 38, 29 (2014)
  24. А.В. Тумаркин, А.А. Одинец. ФТТ 60, 88 (2018)
  25. А.В. Тумаркин, В.А. Вольпяс, М.В. Злыгостов, А.А. Одинец, Е.Н. Сапего. Изв. РАН. Сер. физ. 82, 1 (2018)
  26. G.V. Belov, V.S. Iorish, V.S. Yungman. CALPHAD: Comput. Coupling Phase Diagrams. Thermochem 23, 173 (1990)
  27. И.С. Куликов. Термодинамика оксидов. Металлургия, М. (1986). 344 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme