Кристаллизация слоев в гетероструктурах PZT/LNO/Si
Министерство науки и высшего образования РФ
РФФИ, 19-29-03058
Атанова А.В.1, Жигалина О.М.1,2, Хмеленин Д.Н.1, Серегин Д.С.3, Воротилов К.А.3
1Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Москва, Россия
2Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
3МИРЭА - Российский технологический университет, Москва, Россия
Email: atanova.a@crys.ras.ru
Поступила в редакцию: 16 июля 2019 г.
В окончательной редакции: 16 июля 2019 г.
Принята к печати: 25 июля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2019 г.
Методами просвечивающей электронной микроскопии исследована микроструктура слоев композиции Pb(Zr0.52Ti0.48)O3-LaNiO3-Si и тонких пленок LaNiO3, полученных методом химического осаждения из растворов. Выявлено, что поликристаллическая, пористая структура LaNiO3 приводит к нарушению столбчатости структуры цирконата-титаната свинца. Рассмотрено влияние термической обработки на структуру и фазовый состав никелата лантана. Показано, что такие морфологические особенности структуры пленки LaNiO3, как слоистость, пористость и разориентированность, наблюдаются при отжиге с температурой 550oС и усугубляется при повышении до 800oС. Ключевые слова: тонкие пленки, химическое осаждение из растворов, просвечивающая электронная микроскопия, цирконат-титанат свинца, никелат лантана.
- N. Setter, D. Damjanovic, L. Eng, G. Fox, S. Gevorgian, S. Hong, A.Kingon, H. Kohlstedt, N.Y.Park, G.B.Stephenson, I. Stolitchnov, A.K. Taganstev, D.V.Taylor, T.Yamada, S. Streiffer. J. Appl. Phys. 100, 051606 (2006)
- K.A. Vorotilov, A.S. Sigov. Phys.Solid State. 54, 894 (2012)
- M. Narayanan, S. Liu, B. Ma. Jpn. J. Appl. Phys. 52, 05DA10 (2013)
- А.В. Атанова, Д.Н. Хмеленин, О.М. Жигалина, Д.С. Серегин, К.А. Воротилов, А.С. Сигов. Наноматериалы и наноструктуры --- XXI век 10, 29 (2019)
- Z. Duan, Y. Cui, Z. Yang, K. Li, Y. Wan, Z. Lu, X. Xie, J. Zhang. Ceram. Int. 44, 695 (2018)
- M.W. Zhu, Z.J. Wang, Y.N. Chen, Z.D. Zhang. J. Cryst. Growth. 336, 44 (2011)
- R.A.C. Amoresi, A.A. Felix, G.M.M.M. Lustosa, G. Gasparotto, A.Z. Simes, M.A. Zaghete. Ceram. Int. 42, 16242 (2016)
- T. Miyazaki, T. Imai, N. Wakiya, N. Sakamoto, D. Fu, H. Suzuki. Mater. Sci. Eng., B 173, 89 (2010)
- K. Vorotilov, A. Sigov, D. Seregin, Y. Podgorny, O. Zhigalina, D. Khmelenin. Phase Transit. 86, 1152 (2013)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
