Микроскопическая теория эпитаксиального роста II. Нелинейные волны и образование сплошных структур
Кукушкин С.А.1, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 15 февраля 1993 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1993 г.
Впервые образование и рост кристаллов и эпитаксиальных пленок описаны в рамках единого подхода. Показано, что образующиеся при осаждении на вицинальной поверхности кристалла сигарообразные кластеры, декорирующие ступени подложки, заполняют в процессе роста ее поверхность. Получено уравнение, описывающее единым образом эволюцию и рост из несобственного пара гетероэпитаксиальных сигарообразных кластеров, образующих монокристаллические пленки, и ступеней кристаллов или гомоэпитаксиальных пленок из собственного пара. Показано, что в процессе роста эпитаксиальных структур образуются нелинейные волны плотности сигарообразных кластеров или ступеней кристалла. Построена строгая теория таких нелинейных волн. Показано, что эволюция микрорельефа растущей поверхности описывается уравнением типа Кортевега-де Фриза или типа Бюргерса. При этом в зависимости от начальных условий и внешних параметров могут образоваться ударные волны, солитоны, кинки, волны пилообразной формы и т.д. Все процессы описаны аналитически и вычислены все характеристики, определяющие форму рельефа растущих поверхностей.
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. ФТТ. Наст. вып. С. 1897--1908
- Шефталь Р.И. Сб. "Рост кристаллов". Т. 10. М.: Наука, 1974. С. 48--67
- Барьяхтар В.Г., Боровик А.Е., Кагановский Ю.С. Письма в ЖЭТФ. 1988. Т. 47. N 8. С. 396--399
- Кагановский Ю.С. Дисперсные системы и поверхностные явления. Харьков, ХГУ, 1989. С. 106--133
- Mullins W.W. J. Appl. Phys. 1959. V. 30. P. 77--83
- Гегузин Я.Е., Кагановский Ю.С. Диффузионные процессы на поверхности кристалла. М.: Энергоатомиздат, 1984. 128 с
- Воронков В.В. Кристаллография. 1967. Т. 12. N 5. С. 831--839
- Додд Р., Эйлбек Дж., Гиббон Дж., Моррис Х. Солитоны и нелинейные волновые уравнения. М.: Мир, 1988. 694 с
- Кукушкин С.А., Разумов С.В., Калинкин И.П., Красинькова М.В. Кристаллография. 1990. Т. 35. N 6. С. 1517--1522
- Norton M.G., Moeckly B.H., Garter C.B., Buhrman R.A. J. Gryst. Growth. 1991. V. 114. P. 258--263
- Gabrera N., Vermilyea D.A. Growth and Perfection of Grystals. N.Y., 1958. P.393--408
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.