Вышедшие номера
Наблюдение тепловых пиков при распылении тантала кластерными ионами золота
Морозов С.Н.1, Расулев У.Х.1
1Институт электроники им. У.А. Арифова АН РУ, Ташкент, Узбекистан
Email: ariel@uzsci.net
Поступила в редакцию: 15 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.

Экспериментально исследована эмиссия атомарных и кластерных ионов при распылении танталовой мишени кластерными ионами золота в диапазоне энергий бомбардирующих ионов 6-21 keV. Обнаружен эффект существенного увеличения выхода атомарных ионов тантала, имеющих квазитепловые энергии, с ростом количества атомов в бомбардирующих кластерных ионах золота. Полученные результаты являются экспериментальным доказательством наличия тепловых пиков при кластерной бомбардировке и их вклада в эмиссию атомарных ионов.