Наблюдение тепловых пиков при распылении тантала кластерными ионами золота
Морозов С.Н.1, Расулев У.Х.1
1Институт электроники им. У.А. Арифова АН РУ, Ташкент, Узбекистан
Email: ariel@uzsci.net
Поступила в редакцию: 15 июля 2002 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2002 г.
Экспериментально исследована эмиссия атомарных и кластерных ионов при распылении танталовой мишени кластерными ионами золота в диапазоне энергий бомбардирующих ионов 6-21 keV. Обнаружен эффект существенного увеличения выхода атомарных ионов тантала, имеющих квазитепловые энергии, с ростом количества атомов в бомбардирующих кластерных ионах золота. Полученные результаты являются экспериментальным доказательством наличия тепловых пиков при кластерной бомбардировке и их вклада в эмиссию атомарных ионов.
- Bounaau S., Brunelle A., Della-Negra S. et al. // Phys. Rev. B. 2002 (in press)
- Belykh S.F., Habets B., Rasulev U.Kh. et al. // Nucl. Instr. and Meth. B. 2000. V. 164--165. P. 809
- Расулев У.Х., Морозов С.Н. // Изв. АН. Сер. физ. 2002. Т. 66. N 4. С. 522
- Sigmund P., Claussen C. // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. P. 990
- Andersen H.H. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1993. V. 43. P. 127
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. V. 184. P. 383
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук