Метод контроля наноразмерной толщины бислойных пленочных наноструктур
Стогний А.И.1, Новицкий Н.Н.1, Стукалов О.М.1
1УП "Завод Транзистор" НПО "Интеграл", Минск, Беларусь Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Беларуси, Минск
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 16 сентября 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.
Описан экспресс-метод определения при помощи атомно-силового микроскопа (АСМ) наноразмерной толщины ультратонких одно- и бислойных пленок, осажденных на пористую, с гладкими участками между порами стеклянную подложку при наклонном угле падения потока напыляемого материала. При осаждении бислойных пленок вторая мишень устанавливается под углом на 10... 15o больше относительно подложки, чем первая. На АСМ-изображениях поверхности таких пленок отчетливо фиксируется положение границ кромка поры-пленка и верхний слой пленки-нижний слой пленки, что дает возможность оценить толщину пленки в целом, и каждого слоя в отдельности по высотам ступенек между кромкой поры и поверхностями слоев пленки на поперечном сечении рельефа поверхности.
- Feldman L.C., Mayer J.W. Fundamentals of surface and thin films analysis. Elsevier Science Publishing, 1986
- Wehner G.K.-B. Methods of Surface Analysis / Ed. A.W. Czanderna, Elsevier, Amsterdam, 1975. (Методы анализа поверхности) / Под ред. А. Зандерны. М.: Мир, 1979
- Smentkowski V.S. // Progress in Surface Science. 2000. V. 64. P. 1--58
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 1. С. 39--48
- Bukharaev A.A., Nurgazizov N.I., Mozhanova A.A., Ovchinnikov D.V. // Surface Science. 2001. V. 482. N 5. P. 1319--1324
- Стогний А.И., Свирин В.Т., Тушина С.Д. и др. // ПТЭ. 2001. N 3. С. 151--154
- Ходаков Г.С., Кудрявцева Н.Л. Физико-химические основы полирования стекла. М.: Наука, 1985. 221 с
- Thompson M.W. // Nucl. Instr. And Methods in Phys. Res. 1987. B. 18. P. 411--429
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Новые магнитные материалы микроэлектроники. Сб. трудов XVIII Межд. школы-семинара. 24--28 июня 2002 г. Москва. С. 303--305
- Sheu J.K., Su Y.K., Chi G.C. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. N 16. P. 2340--2342
- Jin-Kuo Ho, Chang-Shyang Jong, Chien C.Chiu et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. N 9. P. 1275--1277
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук