Использование тонких алмазных пленок для формирования интегральных схем
Белый В.К.1, Варнин В.П.1, Гаврилов С.А.1, Ильичев Э.А.1, Полторацкий Э.А.1, Рычков Г.С.1, Теремецкая И.Г.1
1Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина", Москва Институт физической химии, Москва
Email: polt@niifp.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2002 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2003 г.
Рассмотрена технология, позволяющая на основе поликристаллических алмазных пленок создавать интегральные эмиссионные элементы типа вакуумных триодов. Технология включает три основных момента. Создание на поверхности кремниевой подложки тонкой алмазной пленки, проведение на основе алюминиевой маски литографии по этой пленке и, наконец, доращивание пленки в таком режиме, который обеспечивает ее эмиссионные свойства. Приводится конструкция эмиссионного триода, который может быть реализован на основе предлагаемой технологии.
- Варнин В.П., Дерягин Б.В., Федосеев Д.В. и др. // ЖЭТФ. 1975. Т. 69. В. 4 (10). С. 1250
- Варнин В.П., Дерягин Б.В., Федосеев Д.В. и др. // Кристаллография. 1977. Т. 22. В. 4. С. 893--896
- Yamada T., Sawabe A., Roizumi S. et al. // Phys. Stat. Sol. (a). 2001. N 2. P. 257
- Krauss A.R., Auciello J., Ding M.Q. et al. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. N 5. P. 2958
- Karabutov A.V., Khmelnitsky R.A., Negodaev M.A. et al. // Diamond and related Materials. 2001. V. 10. P. 2178
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук