Применение голографического интерферометра в режиме реального времени для моделирования процессов, происходящих в реакторе газовой эпитаксии
Константинов В.Б., Бабенко В.А., Жиляев Ю.В.
Поступила в редакцию: 24 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Методы голографической интерферометрии позволяют визуализировать газовые потоки и получать количественные данные о распределении плотности в объеме. Рассматривается возможность использования этих методов для контроля процессов в полости реактора газофазной эпитаксии. Установка состоит из реактора с двумя прозрачными окнами, голографического интерферометра реального времени, системы подачи газа в реактор и аппаратуры для визуального наблюдения газовых потоков. Полученные результаты демонстрируют перспективы использования метода как для оптимизации геометрии реактора, так и для корректировки физических условий процесса газовой эпитаксии.
- Giling L. // J. Electrochem. Soc. 1982. V. 129. P. 634--644
- Турилин С.М., Сорокин И.Н., Антоненко К.И. // Неорг. материалы. 1995. Т. 31. N 2. С. 151--159
- Антоненко К.И., Арендаренко А.А., Сорокин И.Н., Турилин С.М. // Изв. АН СССР. Мех. жидкости и газа. 1996. N 6. С. 118--124
- Pezol'dt J., Antonenko K., Eiichorn G. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. San Francisco, U.S.A. 1996. V. 429. P. 65--70
- Gurevich S., Konstantinov V. // Opt. Journal. 1996. V. 10. P. 3--13
- Gurevich S., Babenko V., Konstantinov V. Fringe 2001 / Ed. W. Osten, W. Juptner. Elsevier. P. 641--645
- Bat'kovich V., Budenkova O., Konstantinov V. et al. // JTPh. 1999. V. 69. N 6. P. 106--111
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук