Аналог эффекта полого катода в высокочастотном емкостном разряде низкого давления
Малик Д.А.1, Орлов К.Е.1, Смирнов А.С.1, Черноизюмская Т.В.1
1С.-Петербургский государственный политехнический университет
Email: orlov@phtf.stu.neva.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.
Исследованы процессы формирования потока ионов из плазмы высокочастотного емкостного разряда низкого давления при наличии углубления в поверхности электрода. При размерах полости порядка толщины приэлектродного слоя в спектре ионов, поступающих на поверхности полости, появляется пик ионов малых энергий. Механизм его возникновения аналогичен эффекту "полого катода" в разряде постоянного тока.
- Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. М.: Мир, 1987
- Chang-Koo Kim, Demetre J. Economou // Journal of Applied Physics. V. 91. N 5. P. 2594--2603
- Козлов И.Г. / Современные проблемы электронной спектроскопии. М.: Атомиздат, 1978
- Bohm C., Perrin J. // J. Rev. Sci. Instr. 1993. V. 64. N 1. P. 31--38
- Смирнов А.С., Фролов К.С., Уставщиков А.Ю. // ЖТФ. 1995. Т. 65. В. 8. С. 38--50
- Абрамов А.С., Виноградов А.Я., Косарев А.И. и др. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 2. С. 52--59
- Kohler K., Coburn J.W., Horne D.E. et al. // Appl. Phys. 1985. V. 57. N 1. P. 59--66
- Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда. М.: Госатомиздат, 1961
- Москалев Б.И. // Разряд с полым катодом. М.: Энергия, 1969
- Смирнов А.С. // ЖТФ. 1984. Т. 54. В. 1. С. 61--65
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук