Вышедшие номера
Аналог эффекта полого катода в высокочастотном емкостном разряде низкого давления
Малик Д.А.1, Орлов К.Е.1, Смирнов А.С.1, Черноизюмская Т.В.1
1С.-Петербургский государственный политехнический университет
Email: orlov@phtf.stu.neva.ru
Поступила в редакцию: 24 января 2003 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2003 г.

Исследованы процессы формирования потока ионов из плазмы высокочастотного емкостного разряда низкого давления при наличии углубления в поверхности электрода. При размерах полости порядка толщины приэлектродного слоя в спектре ионов, поступающих на поверхности полости, появляется пик ионов малых энергий. Механизм его возникновения аналогичен эффекту "полого катода" в разряде постоянного тока.