Вышедшие номера
Электролюминесценция слоев SiO2 с избыточным кремнием
Барабан А.П.1, Егоров Д.В.1, Петров Ю.В.1, Милоглядова Л.В.1
1НИИ физики С.-Петербургского государственного университета
Поступила в редакцию: 4 июля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.

Изучена электролюминесценция (ЭЛ) структур Si-SiO2, содержащих избыточный кремний в окисном слое, введенный путем ионной имплантации (ИИ) с энергией 150 keV и дозами 5· 1016-3· 1017 cm-2. ИИ приводит к появлениию полос ЭЛ 2.7 и 4.4 eV, которые связывались с образованием силиленовых центров. Сделано предположение о связи механизмов образования данных центров люминесценции непосредственно с процессами ИИ, независимо от типа имплантированных ионов.