Особенности окисления пористого кремния при водном дотравливании
Костишко Б.М.1, Апполонов С.В.1, Саломатин С.Я.1, Костишко А.Е.1
1Ульяновский государственный университет
Email: kost@sv.uven.ru
Поступила в редакцию: 25 августа 2003 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2004 г.
Представлены результаты исследований окисления поверхности пористого кремния в процессе водного дотравливания (ВД). С этой целью использованы данные электронной Оже-спектроскопии об изменении формы обращенной самосвертки L23 VV Оже-пика кремния. Установлено, что формирование SiOx на поверхности протекает в несколько этапов. Первоначально на поверхности квантовых нитей образуются субокислы, состоящие из тетраэдров SiOnSi4-n, n=1-3, а устойчивая к внешним воздействиям SiO2 фаза начинает фиксироваться только после 20 часов ВД и полностью формируется после 7 суток водного дотравливания.
- Uhlir A. // Bell Syst. Tech. J. 1956. V. 35. P. 333--338
- Canham L.T. // Appl. Phys. Lett. 1990. V. 57. N 10. P. 1047--1048
- Xiao Y., Heben M.J., Mc Cullough J.M. et al. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. P. 1152--1154
- Petrova E.A., Bogoslovskaya K.N., Balagurov L.A. et al. // Material Science \& Engineering B. 2000. V. 69--70. P. 152--155
- Mimura H., Futagi T., Matsumoto T. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1994. V. 33. P. 586--589
- Горячев Д.Н., Полисский Г., Сресели О.М. // ФТП. 1998. Т. 32. N 8. С. 1016--1018
- Гаврилов С.А., Белогорохов А.И., Белогорохова Л.И. // ФТП. 2002. Т. 36. N 1. С. 104--108
- Компан М.Е., Шабанов И.Ю. // ФТП. 1995. Т. 29. N 6. С. 1250--1256
- Костишко Б.М., Нагорнов Ю.С. // ЖТФ. 2001. Т. 71. С. 60--66
- Костишко Б.М., Апполонов С.В., Костишко А.Е. и др. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 2001. N 1. С. 38--43
- Костишко Б.М., Апполонов С.В. // Тез. докл. II Всерос. науч.-техн. конференции (Computer-Based conference) "Методы и средства измерений". Нижний Новгород, 2000. Ч. 1. С. 36
- Chao S.S., Tyler J.E., Takaji V. et al. // J. Vac. Sci. Technol. 1984. V. 42. N 3. P. 1574--1579
- Фирменс Л., Вэнник Дж., Декейсер В. Электронная и ионная спектроскопия твердых тел. М.: Мир, 1981. С. 256--257
- Костишко Б.М., Нагорнов Ю.С., Апполонов С.В. // Изв. вузов. Электроника. 2001. N 4. С. 12--18
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук