Частотная дисперсия пленок оксида тантала
Барыбин А.А.1, Быстров Ю.А.1, Комлев А.Е.1, Мезенов А.В.1, Шаповалов В.И.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет
Поступила в редакцию: 22 сентября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2005 г.
Исследованы тонкие пленки оксида тантала, осажденные на подложке из оптического кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено влияние нанонеоднородностей в пленках на результаты определения дисперсии оптических постоянных пленок по экспериментальным спектрам пропускания. PACS: 68.55.a, 68.60.-p
- Rao N.R., Chandramani R., Rao G.M. // J. Mater. Sci. Lett. 1999. V. 18. N 23. P. 1949
- Chang P.-H., Liu H.-Y. // Thin Solid Films. 1995. V. 258. P. 56
- Franke E., Schubert M., Trimble C.L. et al. // Thin Solid Films. 2001. V. 388. N 1--2. P. 283
- Ono H., Hosokawa Y., Shinoda K. et al. // Thin Solid Films. 2001. V. 381. N 1. P. 57
- Zhang J.-Y., Boyd I.W. // Appl. Sur. Sci. 2002. V. 86. N 1--4. P. 40
- Kukli K., Aarik J., Aidla A. et al. // Thin Solid Films. 1995. V. 260. P. 135
- Ayadi K., Haddaoui N.J. // Mater. Sci. Mater. Electron. 2000. V. 11. N 2. P. 163
- Барыбин А.А., Мезенов А.В., Шаповалов В.И. // Перспективные материалы. 2005. N 2. С. 83--88
- Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлектроника / Пер. с англ. М.: Мир, 1976. 430 с. ( Moss T.S., Burrell G.J., Ellis B. Semiconducter Opto-Electronics. Butterworth and Co. Ltd, 1973)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук