Вышедшие номера
Частотная дисперсия пленок оксида тантала
Барыбин А.А.1, Быстров Ю.А.1, Комлев А.Е.1, Мезенов А.В.1, Шаповалов В.И.1
1С.-Петербургский государственный электротехнический университет
Поступила в редакцию: 22 сентября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2005 г.

Исследованы тонкие пленки оксида тантала, осажденные на подложке из оптического кварцевого стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено влияние нанонеоднородностей в пленках на результаты определения дисперсии оптических постоянных пленок по экспериментальным спектрам пропускания. PACS: 68.55.a, 68.60.-p