Влияние температуры на формирование кремниевых нанокристаллитов на некристаллических подложках в плазме СВЧ газового разряда низкого давления
Нефедов Д.В.1, Яфаров Р.К.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 14 февраля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.
Исследованы условия получения наноразмерных островков кремния в плазме СВЧ газового разряда низкого давления на подложках со слабым взаимодействием на межфазной границе. Показано, что формирование наноостровков кремния происходит через заращивание углублений первоначального рельефа поверхности подложки. Установлены влияние параметров режима осаждения на кинетику образования наноостровков и способы управления их морфологическими параметрами. PACS: 81.07.Ta, 52.77.-j
- Леденцов Н.Н., Устинов В.М., Щукин В.А., Копьев П.С., Алфёров Ж.И., Бимберг Д. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 4. С. 385--410
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. В. 6. С. 43--47
- Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. М.: Металлургия, 1982. 247 с
- Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. // Зарубежная электронная техника. 1997. N 1. С. 77--120
- Нефедов Д.В., Яфаров Р.К. // Письма в ЖТФ. 2007. Т. 33. В. 7. С. 26--34
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук