Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов
Гольдштейн Р.В.1, Устинов К.Б.1, Шушпанников П.С.1, Меженный М.В.1, Мильвидский М.Г.1, Резник В.Я.1
1Институт проблем механики РАН, Москва ФГУП Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет", Москва
Email: goldst@ipmnet.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.
Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества. PACS: 61.46.Bc, 61.50.-f, 61.82.Fk, 62.20.-x
- Falster R. // Semiconductor Fabtech. 13th Ed. 2001. P. 187--194
- Колесникова А.Л., Романов А.Е., Чалдышев В.В. // ФТТ. 2007. Т. 49. С. 633--640
- Эшелби Дж. Континуальная теория дислокаций. М.: ИЛ, 1963. С. 103--139
- Mura T. Micromechanics of defects in solids. Martinus Nijhoff Publishers, 1987. 588 p
- Теодосиу. Упругие модели дефектов в кристаллах. М.: Мир, 1985. 352 с
- Гольдштейн Р.В., Устинов К.Б., Меженный М.В., Резник В.Я. / Материалы 6-й международной конференции "Рост монокристаллов и тепломассоперенос" (ICSC-05). Обнинск, Россия, сентябрь 25-30, 2005. С. 656--664
- Гольдштейн Р.В., Устинов К.Б., Шушпанников П.С., Меженный М.В., Мильвидский М.Г., Резник В.Я. Препринт N 808 ИПМех РАН. М., 2007
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук