Вышедшие номера
Порообразование в алюминиевых пленках на макропористом кремнии при высокотемпературном отжиге
Зимин С.П.1,2, Горлачев Е.С.1,2, Герке М.Н.1,2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
2Владимирский государственный университет
Email: zimin@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 20 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.

Методами атомно-силовой и электронной микроскопии проведено исследование поверхности алюминиевой металлизации, нанесенной на слои макропористого кремния и подвергнутой отжигу при температуре 550oC в течение 10-60 min. Обнаружено, что в результате отжига в пленке алюминия формируются сквозные поры с латеральными размерами 400-1300 nm и происходит рост крупных хиллоков высотой до 1.2 mum, локализованных над краями макропор подложки. Показано, что геометрические параметры крупных хиллоков не зависят от продолжительности отжига. PACS: 68.37.Ps, 81.40.Ef