Порообразование в алюминиевых пленках на макропористом кремнии при высокотемпературном отжиге
Зимин С.П.1,2, Горлачев Е.С.1,2, Герке М.Н.1,2
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова
2Владимирский государственный университет
Email: zimin@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 20 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2008 г.
Методами атомно-силовой и электронной микроскопии проведено исследование поверхности алюминиевой металлизации, нанесенной на слои макропористого кремния и подвергнутой отжигу при температуре 550oC в течение 10-60 min. Обнаружено, что в результате отжига в пленке алюминия формируются сквозные поры с латеральными размерами 400-1300 nm и происходит рост крупных хиллоков высотой до 1.2 mum, локализованных над краями макропор подложки. Показано, что геометрические параметры крупных хиллоков не зависят от продолжительности отжига. PACS: 68.37.Ps, 81.40.Ef
- D'Heurle F., Berenbaum L., Rosenberg R. // Trans. Met. Soc. AIME. 1968. V. 242. P. 502--511
- Bacconier B., Lormand G., Papapietro M. et al. // J. Appl. Phys. 1988. V. 64. N 11. P. 6483--6489
- Ericson F., Kristensen N., Schweitz J.-A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1991. V. 9. N 1. P. 58--63
- Smith U., Kristensen N., Ericson F. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1991. V. 9. N 4. P. 2527--2535
- Kim D.-K., Heiland B., Nix W.D. et al. // Thin Solid Films. 2000. V. 371. N 1--2. P. 278--282
- Kim D.-K., Nix W.D., Vinci R.P. et al. // J. Appl. Phys. 2001. V. 90. N 2. P. 781--788
- Зимин С.П., Горлачев Е.С., Герке М.Н. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2007. N 10. С. 1--3
- Зимин С.П. // ФТП. 2000. Т. 33. В. 3. С. 359--363
- Properties of porous silicon / Ed. L. Canham. Malvern: DERA, 1997. 400 p
- Imai K., Unno H. // IEEE Trans. on Electron. Dev. 1984. V. ED-31. P. 297--302
- Кучис Е.В. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования. М.: Радио и связь, 1990. 264 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук