Формирование наночастиц при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности на тонкую металлическую пленку на диэлектрической подложке
Ковивчак В.С.1,2, Бурлаков Р.Б.1,2, Панова Т.В.1,2, Давлеткильдеев Н.А.1,2
1Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского
2Омский филиал ИФП СО РАН
Email: kvs@univer.omsk.su
Поступила в редакцию: 7 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2008 г.
Исследовано образование наночастиц на поверхности подложки после воздействия мощного протон-углеродного пучка наносекундной длительности на систему "тонкая металлическая пленка-диэлектрическая подложка". Приведены параметры образующихся частиц для пленок Al и Ni толщиной в диапазоне 5-60 nm, нанесенных на подложки из ситалла СТ-50. Рассмотрены возможные механизмы формирования наночастиц. PACS: 61.46.Df, 61.80.Jh, 81.16.Rf
- Henley S.J., Carey J.D., Silva S.R. // Phys. Rev. 2005. V. B72. P. 195408
- Favazza C., Kalyanaraman R., Sureshkumar R. // Nanotechnology. 2006. V. 17. P. 4229--4234
- Ковивчак В.С., Попов Е.В., Панова Т.К., Бурлаков Р.Б. // ФХОМ. 2002. N 2. С. 31--33
- Ковивчак В.С., Панова Т.К., Бурлаков Р.Б., Геринг Г.И. // Поверхность. 2007. N 7. С. 95--97
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А. и др. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. Минск, 1980. 352 с
- Hu X., Cahill D.G., Averback R.S. // J. Appl. Phys. 2001. V. 89. N 12. P. 7777--7783
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук