Влияние периодического прерывания роста квантовых точек InAs/GaAs на их морфологию и оптоэлектронные спектры в методе газофазной эпитаксии при атмосферном давлении
Здоровейщев А.В.1, Демина П.Б.1, Звонков Б.Н.1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: zdorovei@nifti.unn.ru
Поступила в редакцию: 4 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.
Модифицирован режим роста квантовых точек газофазной эпитаксией из металлорганических соединений при атмосферном давлении. В отличие от стандартного режима роста время периодического прерывания подачи триметилиндия и арсина в реактор было увеличено и варьировалось в диапазоне от 4 до 18 s. Показано, что оптимизация времени прерывания роста позволяет получить плотные, однородные по размерам массивы квантовых точек и снизить концентрацию крупных релаксированных кластеров без применения дополнительных обработок (легирования сурфактантами или химического травления). Поверхностную концентрацию квантовых точек удалось повысить почти на порядок до 6· 1010 cm-2. Структуры, выращенные по модифицированной методике, имеют высокую термостабильность и высокую интенсивность электролюминесценции диодов Шоттки с торца структуры при комнатной температуре. PACS: 68.37.Ps, 78.67.Hc, 81.07.Ta, 81.15.Gh
- Черкашин Н.А., Максимов М.В., Макаров А.Г. и др. // ФТП. 2003. Т. 37. В. 7. С. 120
- Lee Y., Ahn E., Kim J. et al. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 90. P. 033105
- Звонков Б.Н., Карпович И.А., Байдусь Н.В. и др. // ФТП. 2001. Т.35. В. 1. С. 92
- Байдусь Н.В., Бирюков А.А., Данилов Ю.А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физ. 2003. Т. 67. N 2. С. 208
- Baidus N.V., Zvonkov B.N., Demina P.B. et al. // Semicond. Sci. Technol. 2004. V. 19. P. 469
- Байдусь Н.В., Звонков Б.Н., Некоркин С.М. и др. // Мат. совещ. "Нанофотоника". Н. Новгород, 1999. С. 242
- Karpovich I.A., Baidus N.V., Zvonkov B.N. et al. // Phys. Low-Dim. Struct. 2001. V. 3/4. P. 341
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.