Механизм образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне
Сасин А.В.1, Чернов И.А.1, Игнатьев Б.К.1, Вагнер С.Д.1
1Карельский государственный педагогический университет, Петрозаводск
Email: sasin@kspu.karelia.ru
Поступила в редакцию: 11 февраля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.
Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок. Учтены процессы перезарядки ионов инертного газа и нагрев газа. Проведено сравнение экспериментальных данных с модельными расчетами. PACS: 52.80.Sm, 81.15.Cd
- Серов И.Н., Бельская Г.Н., Кощеев С.В., Марголин В.И., Мошников В.А., Чеснокова Д.Б. // Сб. докл. 15 Межд. симп. "Тонкие пленки в оптике и электронике". Харьков: НИЦ ХФТИ, "Константа", 2003. С. 14--18
- Вагнер С.Д., Игнатьев Б.К., Калининская Т.В., Платонов А.А., Ковалевский В.В. // Матер. Всерос. науч. конф. по физике низкотемпературной плазмы ФНТП --- 2004. Петрозаводск, 2004. Т. 1. С. 186--191
- Плесков Ю.В. Электрохимия алмаза / Рос. акад. наук, Ин-т электрохимии им. А.М. Фрумкина. М.: Едиториал УРСС, 2003. 101 с
- Бурманский И.Ю., Рогов А.В. // ЖТФ. 2004. Т. 74. В. 1. С. 120--122
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992
- Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 7. С. 24--32
- Stephen M. Rossnagel // IEEE Transactions on plasma science. 1990. V. 18. N 6. P. 878--882
- Гиршфельдер Дж., Кертисс Ч., Берд Р. Молекулярная теория газов и жидкостей. М., 1961. Гл. 9
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук