Исследование стабильности структуры пористого кремния, полученного травлением Si(100) в водном растворе фторида аммония, спектроскопическими методами
Филатова Е.О.1,2,3, Лысенков К.М.1,2,3, Соколов А.А.1,2,3, Овчинников А.А.1,2,3, Марченко Д.Е.1,2,3, Кашкаров В.М.1,2,3, Назариков И.В.1,2,3
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
2BESSY II, Albert-Einstein str., 15, Berlin, Germany
3Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: feo@EF14131spb.edu
Поступила в редакцию: 14 июля 2009 г.
Выставление онлайн: 20 января 2010 г.
Исследовался пористый кремний (por-Si), полученный электрохимическим травлением монокристаллического Si (100) в водном растворе фторида аммония с добавлением изопропилового спирта. Исследование проводилось методами рентгеновской спектроскопии отражения, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и квантового выхода внешнего рентгеновского фотоэффекта. Установлено, что por-Si, полученный по нетрадиционной методике (без использования плавиковой кислоты), является частично аморфизированным и имеет на поверхности стабильный во времени окисел, не превышающий по толщине 5 nm.
- Szilagyi E., Paszti F., Hajnal Z., Battistig G. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section. B. 1996. V. 118. P. 617--621
- Ратников В.В., Сорокин Л.М., Соколов В.И., Калмыков А.Е. // ФТТ. 2009. Т. 51. В. 12. С. 2289--2295
- Филатова Е.О., Соколов А.А., Тарачева Е.Ю., Багров И.В. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. B. 2. С. 36--41
- Filatova E., Stepanov A., Blessing C. et al. // J. Phys.: Condens. Matter. 1995. V. 7. P. 2731--2744
- Shirley D.A. // Physical review B. 1972. V. 5. N 12
- Durrani S.M.A., Al-Kuhaili M.F., Khawaja E.E. // J. of Physics: Condenced Matter. 2003. V. 15. P. 8123--8135
- Errien N., Vellutini L., Louarn G., Floyer G. // Applied Surface Science. 2007. V. 253. P. 7265--7271.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.