Особенности спектров оптической эмиссии плазмы высокочастотного разряда в процессе распыления феррита висмута
Пляка П.С.1,2, Толмачев Г.Н.1,2
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Научно-исследовательский институт физики, Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия
Email: pavstef@mail.ru
Поступила в редакцию: 22 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 января 2010 г.
Выполнены сравнительные исследования спектров оптической эмиссии плазмы кислородного ВЧ-разряда в процессе распыления мишени из BiFeO3 и железосодержащих металлических сплавов. Обнаружены две аномально яркие линии атомов железа, характерные только для феррита висмута и слабо выраженные при использовании металлических мишеней. Получено подтверждение полного отсутствия в спектре линий висмута. Предложен механизм возбуждения аномальных линий железа 613.6 и 306.7 nm при распылении мишени из BiFeO3.
- Ramesh R., Spaldin N.A. // Nature Materials. 2007. V. 6. P. 21--29
- Шерстюк Н.Э. и др. // Физика твердого тела. 2009. Т. 51. В. 7. С. 1284--1286
- Lee Y.-H. et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. V. 87. P. 172 901
- Мухортов В.М. и др. // Труды Южного научного центра Российской академии наук. Т. 2: Физика. Механика. Техника. Ростов-на-Дону, 2007. С. 224--265
- Мухортов В.М. и др. // ЖТФ. 1998. Т. 68. В. 9. С. 99--103
- Пляка П.С. и др. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. В. 19. С. 60--66
- Зайдель А.Н. и др. Таблицы спектральных линий. М.: Наука, 1969. 784 c
- NIST Atomic Spectra Database // http://physics.nist.gov/PhysRefData/ASD/lines\_form.html
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н., Яценко Н.А. Высокочастотный емкостный разряд. М.: Наука, 1995
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.