Влияние энергии ионов азота на рост тонких пленок GaN при молекулярно-пучковой эпитаксии
Куликов Д.В.1, Трушин Ю.В.1, Харламов В.С.1
1Санкт-Петербургский академический университет --- научно-образовательный центр нанотехнологий РАН Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург
Email: trushin@theory.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 24 ноября 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.
Методом балансных кинетических уравнений исследовалось влияние энергии облучения ионами азота на эпитаксиальный рост тонких пленок GaN. Рассчитана зависимость скорости роста пленок от энергии ионов. Объяснено изменение структуры пленки при разных энергиях облучения. Получено удовлетворительное согласие теоретических оценок с экспериментальными данными.
- Gaiduk P.I., Hansen J.L., Larsen A.N. // Appl. Phys. A. 2001. V. 73. P. 761
- Sienz S., Gerlach J.W., Hoche T., Sidorenko A., Mayerhofer T., Benndorf G., Rauschenbach B. // J. Crystal. Growth. 2004. V. 264. P. 184
- Gerlach J.W., Hofmann A., Hoche T., Frost F., Rauschenbach B., Benndorf G. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 88. P. 011902
- Kharlamov V.S., Kulikov D.V., Trushin Yu.V. // Vacuum. 1999. V. 52. P. 407
- Trushin Yu.V., Kulikov D.V., Safonov K.L., Gerlach J.W., Hoche Th., Rauschenbach B. // J. Appl. Phys. 2008. V. 103. P. 14904
- Trushin Yu.V. Theory of Radiation Processes in Metal Solid Solutions. New York: Nova Science Publishers Inc., 1996. 405 p
- Трушин Ю.В. Радиационные процессы в многокомпонентных материалах (теория и компьютерное моделирование). СПб.: ФТИ им. А.Ф. Иоффе РАН, 2002
- Schmidt A.A., Trushin Yu.V., Safonov K.L., Kharlamov V.S., Kulikov D.V., Ambacher O., Pezoldt // J. Mater. Sci. Forum. 2006. V. 527--529. P. 315
- Аброян И.А., Еремеев М.А., Петров Н.Н. // УФН. 1967. Т. 92. N 1. С. 105
- Takeuchi N., Selloni A., Myers Т.Н., Doolittle A. // Phys. Rev. B. 2005. V. 72. N 11. P. 115307
- Gerlach W., Schwertberger R., Schrupp D., Sienz S., Attenberger W., Rauschenbach B. // IPAP Conf. Series. 2001. V. 1. P. 202
- Ziegler J.F., Biersack J.P., Ziegler M.D. The Stopping and Range of Ions in Matter. Morrisville. NC: Lulu Press Co, 2008
- Gerlach J.W. Ionenstrahlgestutztes epitaktisches Wachstum hexagonaler Galliumnitrid-Schichten auf c-Saphir. Dissertation. Universitat Augsburg. 2000. Mensch \& Buch Verlag, Berlin, 2001
- Schwertberger R. Strukturelle Charakterisierung von ionengestutzt abgeschiedenen Galliumnitridschichten. Diploma thesis. University of Augsburg. Germany, 1999
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук