Вышедшие номера
Особенности электростимулированного разрушения алюминиевой металлизации при наличии диэлектрических ступенек на поверхности кремния
Скворцов А.А.1, Рыбин В.В.1, Зуев С.М.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvor@list.ru
Поступила в редакцию: 21 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Рассмотрены особенности тепловой деградации напыленных на диэлектрические ступеньки алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<8· 1010 A/m2 и длительностью 100-1000 mus. Предложена методика, позволяющая проводить диагностику слоев металлизации с диэлектрическими подслоями и определять область их безопасной работы.