Особенности электростимулированного разрушения алюминиевой металлизации при наличии диэлектрических ступенек на поверхности кремния
Скворцов А.А.1, Рыбин В.В.1, Зуев С.М.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvor@list.ru
Поступила в редакцию: 21 октября 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.
Рассмотрены особенности тепловой деградации напыленных на диэлектрические ступеньки алюминиевой металлизации при прохождении через нее одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<8· 1010 A/m2 и длительностью 100-1000 mus. Предложена методика, позволяющая проводить диагностику слоев металлизации с диэлектрическими подслоями и определять область их безопасной работы.
- Валиев К.А., Орликовский A.A., Васильев А.Г., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 1990. В. 2. Т. 19. С. 116--131
- Технология СБИС. Т. 2 / Под. ред. Зи С. М.: Мир, 1986. 367 с
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Рыбин В.В. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 6. С. 18--24
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Саланов А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 19. С. 76--84
- Орлов А.М., Пирогов А.В., Емельянова Т.Г. // Неорганические материалы. 1993. Т. 29. N 11. С. 1559--1562
- Kaur I., Gust W. Fundamentals of grain and Interphase Boundary Diffusion. Stuttgart: Ziegel press, 1989. 438 s
- Комник Ю.Ф. Физика металлических тонких пленок. М.: Металлургия, 1986. 286 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук