Ионно-лучевая инженерия многослойной наноструктуры Co/TiO2
Стогний А.И.1,2, Пашкевич М.В.1,2, Новицкий Н.Н.1,2, Беспалов А.В.1,2
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), Москва, Россия
Email: stognij@ifttp.bas.-net.by
Поступила в редакцию: 18 ноября 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.
Методом ионно-лучевого распыления получены и исследованы многослойные структуры Co/TiO2 суммарной толщиной до 100 nm, с толщиной парциальных слоев, варьируемой в нанометровом интервале. Показано, что в многослойных структурах [Co(2 nm)/TiO2(2 nm]15, [Co(2 nm)/TiO2(4 nm]15 и [Co(4 nm)/TiO2(4 nm)]12 среднеквадратичная шероховатость поверхности не превышает 0.9 nm, все слои являются сплошными, имеют резкие плоскопараллельные интерфейсы, а характеристики каждого слоя близки к характеристикам их объемных аналогов. Структура [Co(2 nm)/TiO2(4 nm)]15 отличается наибольшей прозрачностью (более 7% в видимой области спектра). Указанные пленки обладают перспективными свойствами для применения в магнитооптике и спинтронике. Поверхности многослойных структур [Co(4 nm)/TiO2(2 nm)]15 и [Co(6 nm)/TiO2(2 nm)]12 имеют среднеквадратичную шероховатость более 1 nm и отличаются наличием проколов с плотноcтью до 5· 107 cm-2. Уменьшение толщины парциальных слоев от 2 nm сопровождается перемешиванием слоев, а увеличение толщины уединенного слоя TiO2 от 6 nm приводит к большим отличиям в спектре пропускания от спектра анатаза TiO2 и уменьшению прозрачности.
- Дынник Ю.А., Эдельман И.С., Морозова Т.П. и др. // Письма в ЖЭТФ. 1997. Т. 65. В. 7. С. 531
- Луцев Л.В., Стогний А.И., Новицкий Н.Н. // Письма в ЖЭТФ. 2005. Т. 81. В. 10. С. 636
- Стогний А.И., Мещеряков В.Ф., Новицкий Н.Н. и др. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. В. 11. С. 96
- Стогний А.И., Пашкевич М.В., Новицкий Н.Н. и др. // Неорганические материалы. 2009. Т. 45. N 11. С. 1323
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 1. С. 39
- Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Стукалов О.М. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. В. 4. С. 39
- Viseu T.M.R., Almeida B., Stchakovsky M. et al. // Thin Solid Films. 2001. V. 401. P. 216
- Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности тонких пленок. М.: Мир, 1989. 480 с. (Fundamentals of surface and thin film analysis // Feldman L.C., Mayer J.W. Elsevier science Publishing Co., Inc., 1986)
- Sangaletti L., Canova F.F., Sepe A. et al. // Surface Science. 2007. V. 601. P. 4375
- Trypiniotis T., Tse D.H.Y., Steinmuller S.J. et al. // IEEE Transactions on magnetics. 2007. V. 43. P. 2872
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.