Вышедшие номера
Ионно-лучевая инженерия многослойной наноструктуры Co/TiO2
Стогний А.И.1,2, Пашкевич М.В.1,2, Новицкий Н.Н.1,2, Беспалов А.В.1,2
1Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
2Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (Технический университет), Москва, Россия
Email: stognij@ifttp.bas.-net.by
Поступила в редакцию: 18 ноября 2009 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2010 г.

Методом ионно-лучевого распыления получены и исследованы многослойные структуры Co/TiO2 суммарной толщиной до 100 nm, с толщиной парциальных слоев, варьируемой в нанометровом интервале. Показано, что в многослойных структурах [Co(2 nm)/TiO2(2 nm]15, [Co(2 nm)/TiO2(4 nm]15 и [Co(4 nm)/TiO2(4 nm)]12 среднеквадратичная шероховатость поверхности не превышает 0.9 nm, все слои являются сплошными, имеют резкие плоскопараллельные интерфейсы, а характеристики каждого слоя близки к характеристикам их объемных аналогов. Структура [Co(2 nm)/TiO2(4 nm)]15 отличается наибольшей прозрачностью (более 7% в видимой области спектра). Указанные пленки обладают перспективными свойствами для применения в магнитооптике и спинтронике. Поверхности многослойных структур [Co(4 nm)/TiO2(2 nm)]15 и [Co(6 nm)/TiO2(2 nm)]12 имеют среднеквадратичную шероховатость более 1 nm и отличаются наличием проколов с плотноcтью до 5· 107 cm-2. Уменьшение толщины парциальных слоев от 2 nm сопровождается перемешиванием слоев, а увеличение толщины уединенного слоя TiO2 от 6 nm приводит к большим отличиям в спектре пропускания от спектра анатаза TiO2 и уменьшению прозрачности.