О возможности управления фазово-структурным и напряженным состояниями вакуумно-дуговых наноструктурных покрытий системы Mo-N путем подачи потенциала смещения на подложку в процессе осаждения
Соболь О.В.1, Андреев А.А.1, Столбовой В.А.1, Фильчиков В.Е.1
1Национальный технический университет "ХПИ", Харьков, Украина Национальный научный центр "ХФТИ", Харьков, Украина
Email: sool@kpi.kharkov.ua
Поступила в редакцию: 10 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 20 января 2012 г.
Рассмотрен эффект фазово-структурной и упругонапряженной неустойчивости при формировании вакуумно-дуговых покрытий системы Mo-N в условиях подачи потенциала смещения на подложку. Повышение потенциала смещения приводит как к формированию преимущественной ориентации [111] роста кристаллитов нитрида молибдена с кубической типа NaCl решеткой (gamma-Mo2N фаза), так и к появлению второй фазы с характерной для чистого молибдена кристаллической ОЦК-решеткой. Упругодеформированное (напряженное) состояние покрытия определяется не только условиями осаждения, но и механическими свойствами подложки. Для достижения высоких значений упругодеформированного состояния необходимо осаждать на подложки с большим модулем упругости, что препятствует течению металла в межграничной области. Такие высоконапряженные покрытия с размером кристаллитов 9-14 nm обладают высокой твердостью, достигающей 45-50 GPa.
- Андреев А.А., Саблев Л.П., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. 317 с
- Азаренков А.А., Соболь О.В., Погребняк А.Д., Береснев В.М. Инженерия вакуумно-плазменных покрытий. Харьков: Изд-во ХНУ им. Каразина, 2011. 344 с
- Шпак А.П., Наконечная О.И., Куницький Ю.А., Соболь О.В. Механические свойства покрытий на основе титана. К.: ИМФ НАНУ, 2005. 84 с
- Pogrebnjak A.D., Sobol O.V., Beresnev V.M., Turbin P.V., Kirik G.V., Makhmudov N.A., Il'yashenko M.V., Shypylenko A.P., Kaverin M.V., Tashmetov M.Yu., Pshyk A.V. // Nanostructured Materials and Nanotechnology IV: Ceramic Engineering and Science Proceedings. Wiley, 2010. V. 31. N 7. P. 127--138
- Кунченко В.В., Андреев А.А., Кунченко Ю.В., Картмазов Г.Н. // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2004. Т. 85. N 3. С. 87--95
- Smithells Metalls Reference Book (Ed. E.A. Brandes). London: Butterworth Heinemann, 1992. 1783 p
- Kazmanli M.K., Urgen M., Cakir A.F. // Surface and Coatings Technology. 2003. V. 167. P. 77--82
- Соболь О.В., Погребняк А.Д., Береснев В.М. // ФММ. 2011. Т. 112. N 2. С. 199--206
- Андреев А.А., Соболь О.В., Горбань В.Ф., Столбовой В.А., Сердюк И.В. // Физическая инженерия поверхноcти. 2011. Т. 9. N 1. С. 15--20
- Андреев А.А., Соболь О.В., Горбань В.Ф., Столбовой В.А., Мамон В.В. // Физическая инженерия поверхности. 2010. Т. 8. N 1. С. 28--35
- Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. М.: Наука, 1972. 320 с
- Genzel C., Reinmers W. // Phys. Stat. Solidi: A-Applied Research. 1998. V. 166. N 2. P. 751--762
- Самсонов Г.В. Нитриды. Киев: Наук. думка, 1969. 380 с
- Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Соболь О.В., Андреев А.А., Григорьев С.Н., Горбань В.Ф., Волосова М.А., Алешин С.В., Столбовой В.А. // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2011. Т. 98. N 4. С. 174--177
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
