Повышение квантовой эффективности фотодиодов за счет изменения направления световых потоков в гетероструктуре InAs/InAsSb/InAsSbP
Гребенщикова Е.А.1, Старостенко Д.А.1, Шерстнев В.В.1, Коновалов Г.Г.1, Андреев И.А.1, Серебренникова О.Ю.1, Ильинская Н.Д.1, Яковлев Ю.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: eagr.iropt7@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 6 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2012 г.
На примере гетероструктуры InAs/InAsSb/InAsSbP было показано, что при создании на тыльной стороне фотодиодного чипа криволинейной отражающей поверхности в виде полусферических ямок травления наблюдается повышение квантовой эффективности фотодиодов в 1.5-1.7 раза во всем исследованном интервале длин волн 3-5 mum. Для полученных фотодиодов (с граничной длиной волны 4.8 mum) с фоточувствительной площадкой 0.1 mm2 и площадью чипа 0.9 mm2 токовая монохроматическая чувствительность на длине волны 4.0 mum составила 0.6 A/W. Плотность обратного темнового тока при напряжении обратного смещения 0.2 V составила величину 4-6 A/cm2.
- Yakovlev Yu.P., Andreev I.A., Kizhayev S.S., Kunitsyna E.V., Mikhailova P. // Proc. SPIE. 2007. V. 6636. 66360D
- Gao H.H., Krier A., Sherstnev V.V. // J. Appl. Phys. 1999. V. 85. N 12. P. 8419--8422
- Gao H.H., Krier A., Sherstnev V.V. // Appl. Phys. Lett. (USA). 2000. V. 77 (6). P. 872--874
- Clark Jones R. // Appl. Opt. 1962. V. 1. P. 607--613
- Шерстнев В.В., Старостенко Д., Андреев И.А., Коновалов Г.Г., Ильинская Н.Д., Серебренникова О.Ю., Яковлев Ю.П. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. В. 1. С. 11--17
- Remennyi M.A., Matveev В.А., Zotova N.V., Karandashev S.A., Stus N.M., Ilinskaya N.D. // Proc. SPIE. V. 6585
- Закгейм А.Л., Зотова Н.В., Ильинская Н.Д., Карандашев С.А., Матвеев Б.А., Ременный М.А., Стусь Н.М., Черняков А.Е. // ФТП. 2009. Т. 43. В. 3. С. 412--417
- Burstein E. // Phys. Rev. 1954. V. 83. P. 632
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.