Вышедшие номера
Тонкая структура углеводородных пленок, полученных в плазме микроволнового газового разряда низкого давления
Алехин А.А.1, Суздальцев С.Ю.1, Яфаров Р.К.1
1Саратовское отделение ИРЭ РАН
Email: pirpc@renet.ru
Поступила в редакцию: 7 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2003 г.

Исследованы условия получения и тонкая структура пленочных углеродных материалов различных аллотропных модификаций, обладающих заданными электрофизическими свойствами. Построена диаграмма полиморфных превращений в углеродных пленках, полученных в микроволновой плазме паров этанола низкого давления. Определены технологические факторы, влияющие на эффективность экстракции алмазоподобных кристаллитов из углеводородной матрицы. Показано, что размер и поверхностная концентрация микрокристаллитов, которые можно экстрагировать из углеводородной матрицы, зависят от режима экстракции, исходной толщины слоя и могут составлять от 10-12 до 100-120 nm и 1.4· 107 cm-2 соответственно.