Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование процессов роста и структуры эпитаксиальных слоев твердых растворов Si1-xSnx
1Физико-технический институт НПО ”Физика−Солнце“ Академии наук Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан 
Email: atvi@physic.uzsci.net
Поступила в редакцию: 2 июня 2003 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2003 г.
Методом жидкостной эпитаксии выращены эпитаксиальные слои твердого раствора Si1-xSnx (0=< x=<0.04) на подложках кремния в температурном интервале 1050-950oC. На основании анализа экспериментальных данных рентгенорадиометрических, рентгенодифрактометрических и морфологических исследований образцов были определены оптимальные режимы выращивания кристаллических совершенных слоев Si1-xSnx. Изготовленные Si-Si1-xSnx-структуры предназначены для использования в технологии производства различных приборов микроэлектроники.
- Саидов А.С., Кошчанов Э.А., Раззаков А.Ш. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 16. С. 71--75
- Дейбук В.Г., Королюк Ю.Т. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 3. С. 298--300
- Saidov M.S., Saidov A.A. // Heteroepitaxy of (IV2)1-x and (IV--IV)x(III--V)1-x solid solutions. The 7-th Inter. Conf. On Vapour Growth and Epitaxy. July 1991. Nagoya. Jap. 17. P. 25
- Андреев В.М., Долгинов Л.М., Третьяков Д.Н. Жидкостная эпитаксия в технологии полупроводниковых приборов. М.: Сов. радио, 1975. С. 328
- Саидов А.С., Кутлимратов А., Сапаев Б и др. // Вестник ГУЛГУ. 2001. N 2. С. 40--44
- Мамиканян С.В. Аппаратура и методы флуоресцентного рентгенорадиометрического анализа. М.: Атомиздат, 1976. С. 279
- Саидов А.С., Сапаев Б., Кошчанов Э.А. и др. // ДАН РУз. 1994. N 11. С. 18--19.
- Вегман Е.Ф., Руфанов Ю.Г., Федорченко И.Н. Кристаллография, минералогия, петрография и рентгенография. М.: Металлургия, 1990. С. 264
- Хенней Н. Химия твердого тела. М.: Мир, 1971. С. 224
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
