Текстурированные пленки оксида олова для микросистем распознавания газов
Сысоев В.В.1, Кучеренко Н.И.1, Кисин В.В.1
1Саратовский государственный технический университет
Email: kisin@sstu.ru
Поступила в редакцию: 3 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.
Исследованы микроструктура, электрофизические свойства и газочувствительность тонких пленок SnO2, полученных методом реактивного магнетронного распыления оксидной мишени. Установлено, что пленки состоят из ориентированных перпендикулярно плоскости подложки кристаллических стержней, диаметр которых составляет 10-60 nm, а длина достигает 1000 nm. Такая морфология обеспечивает облегченный доступ газа к боковым поверхностям кристаллитов. Использование пленок в мультисенсорной микросистеме позволило расширить номенклатуру распознаваемых ею газовых смесей.
- Gardner J., Persaud K.C. // Electronic noses and olfaction 2000. Proceedings of the 7th International Symposium on Olfaction and Electronic Noses. Bristol \& Philadelphia: IOP Publ., 2000. 310 p
- Кисин В.В., Сысоев В.В., Ворошилов С.А. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. В. 16. С. 54--58
- Madou M.J., Morrison S.R. Chemical sensing with solid state devices. London: Academic Press, 1991. 556 p
- Ogawa H., Nishikawa M., Abe A. // J. Appl. Phys. 1982. V. 53. P. 4448--4455
- Kissin V.V., Sysoev V.V., Voroshilov S.A. // Appl. Phys. Let. 2000. V. 76. P. 2391--2393
- Panchapakesan B., DeVoe D.L., Wildmaeir M.R. et al. // Nanotechnology. 2001. V. 12. P. 336--349
- Pan Z.W., Dai Z.R., Wang Z.L. // Science. 2001. V. 291. P. 1947--1949
- Comini E., Faglia G., Sberveglieri G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 81. P. 1869--1871
- Кисин В.В., Ворошилов С.А., Сысоев В.В. и др. // ЖТФ. 1999. Т. 69. В. 4. С. 112--113
- Snyders R., Wautelet M., Gouttebaron R. et al. // Surface and Coatings Technology. 2001. V. 142--144. P. 187--191
- Kissin V.V., Voroshilov S.A., Sysoev V.V. // Thin Solid Films. 1999. V. 348. P. 307--314
- Althainz P., Goschnick J., Ehrmann S. et al. // Sensor and Actuators B. 1996. V. 33. P. 72--76
- Jurs P.C., Bakken G.A., McClelland H.E. // Chemical Reviews. 2000. V. 100. P. 2649--2678
- Henrion R., Henrion G. Multivariate Datenanalyse. Berlin: Springer-Verlag, 1995. 456 p
- Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С. и др. // ФТП. 2001. Т. 35. В. 7. С. 796--800
- Бестаев М.В., Димитров Д.Ц., Ильин А.Ю. и др. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 6. С. 654--657.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук