Вышедшие номера
Азотирование технически чистого титана в тлеющем разряде с полым катодом
Ахмадеев Ю.Х.1, Гончаренко И.М.1, Иванов Ю.Ф.1, Коваль Н.Н.1, Щанин П.М.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Email: schanin@opee.hcei.tsc.ru
Поступила в редакцию: 13 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Приведены результаты исследования азотирования титана марки ВТ1-0 при низких давлениях и низких температурах (=<550oC) в плазме тлеющего разряда с полым катодом. В плазме с концентрацией n=1010-1011 cm-3 диффузионное насыщение титана азотом происходит при плотностях ионного тока на катоде 1.6-4.0 mA/cm2, причем, как было установлено в процессе насыщения, определяющую роль играет атомарный азот. Выявлено формирование градиентной структуры с высокой 14 GPa микротвердостью на поверхности.