Осаждение покрытий на пылевые частицы из паровой фазы в комбинированной плазме
Василяк Л.М.1, Васильев М.Н.1, Ветчинин С.П.1, Поляков Д.Н.1, Фортов В.Е.1
1Институт теплофизики экстремальных состояний объединенного института высоких температур РАН, Москва
Email: lab852@ihed.ras.ru
Поступила в редакцию: 19 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2005 г.
Приведены результаты экспериментов по осаждению никелевых покрытий на полидисперсные микропорошки в комбинированной плазме ВЧ разряда с электронным пучком. Рассмотрены особенности поведения плазменно-пылевого облака в процессе испарения и осаждения покрытий.
- Ivanov A., Mitin V., Pal A. et al. // Plasma Processes and Polymers / Ed. by R. d'Agostino, P. Favia, C. Oehr, and M.R. Wertheimer. 16th Int. Symp. on Plasma Chemistry. Italy, June 22--27, 2003. P. 455--464
- Василяк Л.М., Васильев М.Н., Ветчинин С.П. и др. // ЖЭТФ. 2003. Т. 123. N 3. C. 498--502
- Василяк Л.М., Ветчинин С.П., Поляков Д.Н. и др. // ЖЭТФ. 2005. Т. 127. N 5. C. 1166--1172
- Василяк Л.М., Ветчинин С.П., Поляков Д.Н. // Научные труды ИТЭС ОИВТ РАН. М., 2004. Вып. 6. С. 291--302
- Okano H., Ymazaki T., Horiike Y. // Solid State Technol. 1982. V. 25. P. 166--178
- Василяк Л.М., Васильев М.Н., Ветчинин С.П. и др. // Известия РАН, серия физическая. 2003. Т. 67. N 9. C. 20--29
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук