Деградационные процессы в системах металлизации на кремнии при нестационарных электрических воздействиях
Скворцов А.А.1, Рыбин В.В.1, Романенко И.П.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvortsovaa@ulsu.ru
Поступила в редакцию: 14 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.
Проанализированы температурные режимы работы слоя алюминиевой металлизации, нанесенной на кремниевую пластину, при прохождении через нее токового импульса с линейно нарастающим во времени фронтом (Delta I)/(Delta t)=< 1.5· 1014 A/(m2· s). Произведен расчет динамики температуры при прохождении подобных импульсов и осуществлена его экспериментальная проверка. Обнаружены деградационные процессы в исследуемых структурах, связанные с образованием жидкой фазы на границе раздела металл-полупроводник и плавления слоя металлизации в условиях нестационарного нагрева. PACS: 81.05.-t
- Электрический взрыв проводников / Под ред. А.А. Рухадзе, И.С. Шпигеля. М.: Мир, 1965. 360 с
- Абрамов И.И., Ивкин В.М., Горбач В.Б. // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. В. 4. 1992. С. 28--30
- Грехов И.В., Шулекин А.Ф., Векслер М.И. // ФТП. 1998. Т. 32. В. 6. С. 743--747
- Дульнев Г.Н., Парфенов В.Г., Сигалов А.В. Методы расчета тепловых режимов приборов. М.: Радио и связь, 1990. 312 с
- Мельник В.Н. // Электронное моделирование. 1992. Т. 14. N 3. С. 91--93
- Петросянц К.О., Рябов Н.И. // Электронная техника. Микроэлектроника. 1980. В. 5(89). С. 60--65
- Велмре Э.Э., Фрейдин Б.П. // Электронное моделирование. 1983. N 1. С. 73--76
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Рыбин В.В. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 6. С. 18--23
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Саланов А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 19. С. 76--84
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук