Вышедшие номера
Деградационные процессы в системах металлизации на кремнии при нестационарных электрических воздействиях
Скворцов А.А.1, Рыбин В.В.1, Романенко И.П.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvortsovaa@ulsu.ru
Поступила в редакцию: 14 марта 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2006 г.

Проанализированы температурные режимы работы слоя алюминиевой металлизации, нанесенной на кремниевую пластину, при прохождении через нее токового импульса с линейно нарастающим во времени фронтом (Delta I)/(Delta t)=< 1.5· 1014 A/(m2· s). Произведен расчет динамики температуры при прохождении подобных импульсов и осуществлена его экспериментальная проверка. Обнаружены деградационные процессы в исследуемых структурах, связанные с образованием жидкой фазы на границе раздела металл-полупроводник и плавления слоя металлизации в условиях нестационарного нагрева. PACS: 81.05.-t