Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
О возможности формирования монокристаллических конденсатов алюминия на изотропных подложках при помощи самоорганизованных ионных распылителей
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина 
Email: kpe@sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 4 апреля 2006 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2006 г.
Предложен принципиально новый технологический подход самоорганизации монокристаллического состояния Al на изотропных подложках при стационарной конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона. Проанализированы функциональные возможности самоорганизованных ионных распылителей. PACS: 81.10.-h
- Родин Т., Уолтон Д. Монокристаллические пленки. М.: Мир, 1966
- Walton D., Rhodin T., Rollings R. // J. Chem. Phys. 1963. V. 38. P. 2698
- Перекрестов В.И. // Письма в ЖТФ. 2005. Т. 31. В. 19. С. 41--46
- Чернов А.А. Кристаллография. Т. 3. М.: Наука, 1980
- Херман М. Полупроводниковые сверхрешетки. М.: Мир, 1989
- Уфимцев В.Б., Акчурин Р.Х. Физико-химические основы жидкофазной эпитаксии. М.: Металлургия, 1983
- Федосюк В.М., Шелег М.У., Касютич О.И. // Зарубежная радиоэлектроника. 1990. N 5. С. 88
- Фельдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989
- Перекрестов В.И., Косминская Ю.А. // Письма в ЖЭТФ. 2003. Т. 78. С. 258
- Перекрестов В.И., Кравченко С.Н. // ПТЭ. 2002. N 3. С. 123
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989
- Глэнг Р. Технология тонких пленок. Т. 1. М.: Сов. радио, 1977
- Перекрестов В.И., Косминская Ю.А. // Металлофизика и новейшие технологии. 2005. Т. 27. С. 265
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
