О возможности создания образцовых поверочных сопротивлений на основе монокристаллов Ge и Si, выращенных в невесомости
Картавых А.В.1, Раков В.В.1
1Институт химических проблем микроэлектроники (ИХПМ), Москва
Email: karta@girmet.ru
Поступила в редакцию: 20 июня 2006 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2006 г.
Рассмотрены требования к созданию образцовых поверочных сопротивлений (ОПС), необходимых для калибровки современных микрозондовых комплексов промышленной диагностики электрофизической однородности элементарных полупроводников. Экспериментально доказана возможность создания прототипов ОПС с неоднородностью распределения удельного электрического сопротивления 1% на основе монокристаллов Ge, легированных Sb, выращенных методом бестигельной зонной плавки в условиях микрогравитации на борту спутника "Фотон". Кратко охарактеризованы основные факторы, влияющие на однородность легирования кристаллов Ge и Si из собственных расплавов в условиях орбитального космического полета, а также использованные приемы оптимизации технологического процесса. PACS: 81.10.Fq, 81.10.Mx, 61.72.Tt, 61.72.Ss
- Кожух М.Л., Шлимак И.С., Федоров В.В., Юрова Е.С. // Письма в ЖТФ. 1985. Т. 11. В. 3. С. 129--131
- Легирование полупроводников методом ядерных реакций / Под ред. Л.С. Смирнова Новосибирск: Наука, 1981. 181 с
- Бармин И.В., Сенченков А.С. // Изв. РАН. Механика жидкости и газа. 1994. N 5. С. 37--45
- Картавых А.В., Копелиович Э.С., Мильвидский М.Г., Раков В.В. // Кристаллография. 1998. Т. 43. N 6. С. 1136--1141
- Картавых А.В., Копелиович Э.С., Мильвидский М.Г., Раков В.В. // Кристаллография. 2000. Т. 45. N 1. С. 167--174
- Картавых А.В. // Кристаллография. 2000. Т. 45. N 6. С. 1108--1113
- Мильвидский М.Г., Картавых А.В., Раков В.В. // Поверхность. 2001. N 9. С. 17--35
- Ginkin V., Kartavykh A., Zabudko M. // J. Cryst. Growth. 2004. V. 270. N 3--4. P. 329--339
- Котов С.В., Лютиков А.Р., Хухрянский Ю.П. и др. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. В. 14. С. 15--18
- Senchenkov A.S., Egorov A.V., Barmin UI.V., Sichinger P. Automatic POLIZON facility for space experiments on the Russian FOTON satellite // Proc. of First Int. Symp. on Microgravity Research and Applications in Physical Sciences and Biotechnology. Sorrento, Italy. ESA publ. SP-454. 2000. V. 2. P. 1031--1037
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук