Предложен и обоснован простой расчетный метод, позволяющий указать условия режима оптимальной генерации EUV излучения, а также рекомендовать направления решения проблемы эффективности источника. Учитываются основные процессы, имеющие место при взаимодействии лазерного излучения с газовой ксеноновой мишенью, ведущие к генерации излучения с длиной волны 13.5 nm. Показано, что одним из основных факторов, уменьшающих эффективность источника, является поглощение генерируемого излучения газом мишени. Проведены качественные расчеты условий генерации излучения с длиной волны 13.5 nm применительно к трем лазерам с различными длинами волн. Установлено, что наиболее перспективным представляется использование CO₂-лазера. Расчетное значение эффективности конверсии составляет величину порядка 3% в области давлений газа ксенона 10-15 mm Hg. PACS: 52.38.-r

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.