Исследование диффузии в многослойных тонкопленочных структурах на кремнии методом контактного плавления
Скворцов А.А.1, Орлов А.М.1, Мурадов В.Е.1
1Ульяновский государственный университет
Email: scvortsovaa@ulsu.ru
Поступила в редакцию: 28 января 2009 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
Рассмотрены особенности контактного плавления в тонкопленочных системах Al (толщина h1=5 mum)-металличеcкий (Ti, Ni, Mo) или полупроводниковый (Si, Ge) подслой (h2=0.1 mum)-кремниевая пластина (h3=500 mum) при прохождении через алюминиевую пленку одиночных прямоугольных импульсов тока амплитудой j<9· 1010 A/m2 и длительностью 100-1000 mus. Осциллографическим методом определены времена и скорости контактного плавления в рассматриваемых структурах. На основе анализа механизмов контактного взаимодействия в сиcтеме Al-подслой (с учетом опытных данных по времени растворения подслоя в Al-пленке) предложена методика оценки коэффициентов многофазной диффузии компонентов в процессе прохождения токового импульса. PACS: 81.15.Pq, 81.05.-t
- Валиев К.А., Орликовский А.А., Васильев А.Г., Лукичев В.Ф. // Микроэлектроника. 1990. В. 2. Т. 19. С. 116--131
- Сакович Е.Л., Лесникова В.П., Портнов Л.Я., Макаревич Т.В., Баранов В.В. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1994. N 3. С. 44--53
- Wayner P. // Byte. 1994. N 8. P. 67--74
- Степанов Г.В., Шевченко О.Ф., Мукаилов Н.С. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. N 4. С. 79--81
- Орлов А.М., Костишко Б.М., Скворцов А.А. // Известия РАН. Неорганические материалы. 1996. Т. 32. N 5. С. 668--672
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Саланов А.А. // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. В. 19. С. 76--84
- Скворцов А.А., Орлов А.М., Рыбин В.В. // Письма в ЖТФ. 2006. Т. 32. В. 6. С. 18--23
- Ершов Г.С., Майборода В.Г. Диффузия в металлургических расплавах. Киев: Наук. думка, 1990. 234 с
- Физические величины: Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Белащенко Д.К. Исследование расплавов методом электропереноса. М.: Атомиздат, 1974. 88 с
- Вилсон Д.Р. Структура жидких металлов и сплавов. М.: Металлургия, 1972. 246 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук