Использование трековой технологии для создания массивов микроигл, микродюз и микротрубок из никеля
Гусинский Г.М.1, Барышев С.В.1, Нащекин А.В.1, Саксеев Д.А.1, Найденов В.О.1, Конников С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: lolapalooza@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 февраля 2009 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.
С помощью растровой электронной микроскопии отработана методика создания массивов никелевых объектов (микроигла, микродюза и микротрубка) с заданными геометрическими параметрами в рамках трековой технологии. Показано, что достигаемое значение радиуса острия микроиглы (10-25 nm) позволяет использовать микробъекты данного типа в качестве актуальных на сегодняшний день многоострийных автоэмиссионных катодов с высокой токовой плотностью. PACS: 37.20.+j, 68.37.Hk, 81.05.Lg, 81.40.Wx
- Гагарин Ю.Ф. и др. // Приборы и техника эксперимента. 1976. N 6. С. 213
- Spindt C.A. // J. Appl. Phys. 1968. V. 39. P. 3504
- Hirosaki N. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91. P. 061101
- Qi K.C. // Appl. Phys. Lett. 2008. V. 93. P. 093503
- Chen Jun et al. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 90. P. 253105
- http://en.futaba.co.jp/display/fed/
- Fowler R.H., Nordheim L. // Pros. Ray. Soc. 1928. V. 119. P. 173
- Баранова Л.А., Гусинский Г.М. // Прикладная физика. 2008. N 2. С. 79
- Gusinskii G.M. et al. // Programm and Abstracts of 49th International Field Emission Symposium. 2004. P. 116
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.